[实用新型]一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构

说明书

本实用新型公开了一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，涉及磁控电源技术领域，包括电源箱，电源箱的内部底面固定连接有导轨，导轨的上表面两端均滑动连接有滑块，滑块的顶部固定连接有电源总成，电源总成的一端固定连接有支撑块，电源总成的另一端固定连接有操作面板，操作面板远离电源总成的一侧固定连接有手把，电源箱远离手把的一侧表面开设有通孔。该非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，通过采用磁吸的方式，改变传统数据插接口的连接方式，使数据插接口工作更加稳定，拆装更加方便，通过箱体与导轨结合的方式，利用锁止机构代替传统螺丝，实现对箱体的快速拆装，使维修和安装更加方便快捷，提高了维修和安装的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及磁控电源技术领域，具体为一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构。

背景技术

脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，双极性脉冲输出，正反脉冲宽度互补调节，中频建设电源以连个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率，从而控制两种不同材质靶材的溅射比例，用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。

目前，现有的非对称双极脉冲磁控溅射电源箱体用螺丝进行组装，螺丝数量较多，这样使得安装和维修时比较麻烦，浪费工作时间，拆装效率较低，而且在拧生锈螺丝时有可能会损坏安装座，使用不便，不利于推广使用。

因此，提出一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，以解决上述背景技术中提出的现有的非对称双极脉冲磁控溅射电源箱体拆装不方便，维修和安装工作效率低的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，包括电源箱，所述电源箱的内部底面固定连接有导轨，所述导轨的上表面两端均滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有电源总成，所述电源总成的一端固定连接有支撑块，所述电源总成的另一端固定连接有操作面板，所述操作面板远离电源总成的一侧固定连接有手把，所述电源箱远离手把的一侧表面开设有通孔，所述支撑块远离电源总成的一侧固定连接有固定板，所述固定板的表面开设有限位孔，所述通孔的内部活动连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有卡块，所述转轴的另一端固定连接有挡片，所述挡片的表面固定连接有旋转块，所述转轴的表面套接有螺旋弹簧，所述固定板的侧面固定连接有数据接口，所述数据接口的表面活动连接有螺帽，所述螺帽的一侧固定连接有柱状磁铁，所述数据接口的内部活动连接有插针，所述插针的一端固定连接有数据插口，所述数据插口的表面套接有环形磁铁，所述数据插口远离插针的一侧固定连接有数据传输线。

优选的，所述导轨有两条，所述滑块的底面与导轨相适配。

优选的，所述螺旋弹簧的一端与挡片固定连接，所述螺旋弹簧的直径大于通孔的孔径。

优选的，所述转轴贯穿通孔和限位孔。

优选的，所述通孔有四个，四个所述通孔在电源箱的后底面呈矩形排列，所述限位孔有四个，四个限位孔的位置均与通孔相对应，所述通孔与限位孔均为长方形孔且大小一致。

优选的，所述卡块为长方形，所述卡块与限位孔相适配。

优选的，所述数据接口的表面开设有螺纹，所述螺帽与数据接口的表面螺纹相适配，所述柱状磁铁套接在数据接口的表面。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，具备以下有益效果：