[实用新型]一种用于真空镀膜的样品高温加热装置

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜的样品高温加热装置，此装置设置在真空镀膜室内，包括基材加热组件、靶材加热组件，所述基材加热组件设置在真空镀膜室的上方，且能将所述真空镀膜室内的基材夹持组件夹持的基材加热，同时能对所述真空镀膜室进行预加热，所述靶材加热组件位于基材夹持组件的下方，且所述靶材加热组件能将靶材加热，并使所述靶材加热组件上的靶材蒸发。通过对基材和靶材的分别加热，来达到分别精准控制的目的，进而保证在基材上的靶材层的均匀和牢固，为真空镀膜技术进一步的发展提供一种可靠的加热方案，而且这种加热方式更环保节能。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种复合型的用于真空镀膜的样品高温加热装置。

背景技术

目前人们使用的各种产品中绝大多数均具有保护层，又叫保护膜，例如日常的金属件-水龙头、五金工具甚至是刀具、锅碗瓢盆等，在产品上添加一层保护层能给与其不一样的功能，而且能更好的保护产品的使用。目前绝大多数产品使采用电镀技术进行镀膜的，但是这种工艺污染很大，因此，开发出了一种真空镀膜技术。

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等，是一种环保的镀膜技术，有望取代电镀。但是这种真空镀膜技术在使用时，极易受到加热系统的影响，温度控制的不好，会导致膜层的不均匀甚至极易发生膜层的不能长久存在，短时间就会脱落。

因此本实用新型发明人，针对目前真空镀膜时温度控制效果不好的问题，旨在发明一种用于真空镀膜的样品高温加热装置。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜的样品高温加热装置。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于真空镀膜的样品高温加热装置，此装置设置在真空镀膜室内，包括基材加热组件、靶材加热组件，所述基材加热组件设置在真空镀膜室的上方，且能将所述真空镀膜室内的基材夹持组件夹持的基材加热，同时能对所述真空镀膜室进行预加热，所述靶材加热组件位于基材夹持组件的下方，且所述靶材加热组件能将靶材加热，并使所述靶材加热组件上的靶材蒸发。

优选地，所述靶材加热组件包括激光发生器，所述激光发生器固定设置在所述真空镀膜室的侧壁上，且其产生的激光朝向靶材，所述靶材放置在载物盘上，且所述载物盘能通过移动组件发生移动。靶材的加热采用激光束加热，能达到快速加热的效果，且激光束加热的加热点准确，保证了特定位置的靶材的快速蒸发，当然，由于激光束的集中，可能造成靶材部分高度蒸发，其余部分尚未蒸发的现象(例如块状靶材在激光束的加热下可能会发生中心穿孔)，所以特意在载物盘上设置移动组件，通过移动组件来实现靶材不同位置的蒸发，保证靶材蒸发的完全。

优选地，所述移动组件包括第一丝杆和第二丝杆，且二者互相垂直，所述第二丝杆的驱动源设置在第一丝杆上套设的第一螺母上，所述第二丝杆上套设的第二螺母上设置载物盘。当然，第一丝杆也有驱动源，通过互相垂直的两个丝杆的设置，能保证载物盘在水平平面内自由的移动，即能对准激光束的位置，实现精准的靶材蒸发。

优选地，在所述第二丝杆的驱动源和载物盘上均设置滑轨，且所述第一螺母和第二螺母均能沿滑轨进行滑动。双保险的设置，保证了载物盘在移动过程中的稳定。

优选地，所述载物盘上设置反光材料。防止激光束对载物盘的损伤。

优选地，所述基材加热组件包括电阻丝，所述电阻丝设置至少两组，且均匀设置并朝向所述基材夹持组件的夹持位。电阻丝的加热方式的选择，是考虑到基材需要加热和真空镀膜室也需要加热的共同选择，基材需要加热是因为，靶材粒子被蒸发后，如果基材温度过低，则影响基材上镀膜的厚度和结合的强度，同样，真空镀膜室内的温度也有利于镀膜的快速有效的进行。

优选地，所述基材加热组件的加热方式还可以选择电磁感应加热或除电阻丝之外的热辐射加热。