[实用新型]一种用于粗氩提纯的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于粗氩提纯的装置，要解决的是现有作为废气的氩气不能再次使用的问题。本产品包括过滤器、除氧组件和深度纯化组件，所述过滤器上设置有进气口并且过滤器与压缩机相连通，压缩机与干燥组件相连通，除氧组件与干燥组件相连通，深度纯化组件与除氧组件相连通。本产品设计合理，作为废气的粗氩气经过滤器除尘和压缩机增压后，送至干燥组件脱水后输送至除氧组件，除氧后的粗氩气进入深度纯化组件，脱除气体中的H₂O、CO、CO₂、N₂、CH₄等，得到符合国标的纯氩送入用户生产用气管线，使氩气可以循环利用，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及氩气提纯领域，是一种用于粗氩提纯的装置。

背景技术

随着科技的进步和工业的快速发展，工业中的各种物质也有了更高的使用要求，氩气就是其中常见的一种。

氩气在工业中应用广泛，在单晶硅及多晶硅行业做为产品拉制过程中保护气体，保证产品拉制过程产品无杂质，在产品拉制生产中保护气氩气混入生产中排除的废气，氩气的纯度被破坏，只能当做废气排放，同时再补充新鲜的氩气。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种用于粗氩提纯的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：

一种用于粗氩提纯的装置，包括过滤器、压缩机、干燥组件、除氧组件和深度纯化组件，所述过滤器上设置有进气口并且过滤器与压缩机相连通，压缩机与干燥组件相连通，除氧组件与干燥组件相连通，深度纯化组件与除氧组件相连通，作为废气的氩气从进气口进入过滤器，可以去除微量粉尘和颗粒，然后进入压缩机进行增压，增压后进入干燥组件进行干燥，干燥后的气体送入除氧组件，可以吸附氧气，然后进入深度纯化组件除去水等其他杂志，得到纯氩气，即可使用。

作为本实用新型实施例进一步的方案：深度纯化组件与冷却器相连通，冷却器上设置有出气口，可以对纯氩气进行降温，便于用户直接使用。

作为本实用新型实施例进一步的方案：干燥组件包括氟利昂系统和吸附容器，吸附容器中盛放有吸附剂，氟利昂系统与吸附容器相连，氟利昂系统可以对气体进行降温，排除冷凝水，吸附容器中的吸附剂可以深度吸附气体中的水分，保证干燥效果。

作为本实用新型实施例进一步的方案：除氧组件包括两只反应器，一只反应器进行除氧工作，另一只反应器进行再生，实现氧气连续的净化。

作为本实用新型实施例进一步的方案：两只反应器均采用不锈钢材料制作，加工方便，价格低廉，使用寿命长。

与现有技术相比，本实用新型实施例的有益效果是：

本产品设计合理，作为废气的粗氩气经过滤器除尘和压缩机增压后，送至干燥组件脱水后输送至除氧组件，除氧后的粗氩气进入深度纯化组件，脱除气体中的H₂O、CO、CO₂、N₂、CH₄等，得到符合国标的纯氩送入用户生产用气管线，使氩气可以循环利用，降低生产成本。

附图说明

图1为用于粗氩提纯的装置的结构示意图。

其中：1-过滤器，2-压缩机，3-干燥组件，4-除氧组件，5-深度纯化组件，6-冷却器。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例1