[实用新型]用于硅片自动取送机构的取片机构

权利要求书

1.用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：包括伺服电机(101)，所述伺服电机(101)的输出端通过带传动机构与第一传动轴(108)连接，所述第一传动轴(108)的两端分别与带有轴承的一对传动安装侧板(103)连接，所述第一传动轴(108)伸出传动安装侧板(103)的端部均配合第二驱动轮(109)，各第二驱动轮(109)通过第三输送带(111)分别绕接第一被动轮(112)、第二被动轮(113)、第三被动轮(115)，所述第三被动轮(115)通过转轴安装在被动轮安装板(1151)外侧；还包括一块取料舌板(110)，所述第二被动轮(113)通过第二传动轴(114)安装在取料舌板(110)的尾部，所述第一被动轮(112)通过转轴安装在被动轮安装块(1121)的外侧，所述被动轮安装块(1121)固接于取料舌板(110)的底部，在所述取料舌板(110)的底部还固接第一移动板(120)，所述第一移动板(120)的背面分别与滑动机构的滑动端及无杆气缸(116)的活塞(117)连接。

2.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：在相邻传动安装侧板(103)之间还固接第一中间连接板(104)，在相邻被动轮安装板(1151)之间连接第二中间连接板(1152)，所述传动安装侧板(103)、中间连接板(104)、被动轮安装板(1151)及第二中间连接板(1152)均固接于底板(102)上。

3.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述带传动机构包括第一同步轮(105)、同步带(106)和第二同步轮(107)，所述第一同步轮(105)安装在伺服电机(101)的输出端，所述第二同步轮(107)安装在第一传动轴(108)的外周，在相邻第一同步轮(105)和第二同步轮(107)之间连接同步带(106)。

4.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述滑动机构包括滑轨(118)和滑台(119)，所述滑台(119)与滑轨(118)滑动连接，所述滑轨(118)固接于一块传动安装侧板(103)的内侧，所述滑台(119)构成滑动机构的滑动端。

5.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述无杆气缸(116)也通过气缸固定板安装在一块传动安装侧板(103) 的内侧。