[实用新型]一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗

权利要求书

1.一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，包括设置在真空镀膜仪的腔体(1)上的观察窗，其特征在于：所述观察窗包括用以观察样品台(2)的样品台观察窗(3)、观察蒸发源(4)的源材料观察窗(5)，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)设置在腔体(1)的相对两侧，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)均倾斜设置，从所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)入射的光线分别直接打在样品台(2)、蒸发源(4)开口处。

2.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)的材质均为石英玻璃。

3.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：所述样品台观察窗(3)从观察口的一端至与腔体(1)连接的一端为倾斜向上设置；源材料观察窗(5)从观察口的一端至与腔体(1)连接的一端为倾斜向下设置，所述样品台观察窗(3)从观察口的一端与源材料观察窗(5)从观察口的一端齐平。

4.根据权利要求3所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)上分别设置有放大镜(6)，所述放大镜(6)可拆卸的设置在与其对应的观察口上。

5.根据权利要求4所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：每个所述观察口的侧壁上设置有插槽(8)，所述放大镜(6)插设在与其对应的插槽(8)内，所述放大镜(6)通过绳子(7)和与其对应的观察口连接。

6.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)的观察口上分别设置有防尘盖(9)。

7.根据权利要求6所述的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，其特征在于：所述防尘盖(9)以旋转或是翻盖的方式设置在与其对应的观察口上。