[实用新型]一种晶硅晶圆抛光用工装

权利要求书

1.一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，包括支撑座、旋转台、板桥和锁紧装置；所述的支撑座位于抛光机上，与抛光机工作台相配合；所述的旋转台位于所述的支撑座的一侧，与所述的支撑座连接，在所述的支撑座上自由转动；所述的板桥位于所述的旋转台的一侧，与所述的旋转台固定连接，跟随所述的旋转台转动；所述的锁紧装置位于所述的板桥上，与所述的板桥相连接；

所述的锁紧装置包括压紧块、固定块、锁紧滑块和锁紧螺丝；所述的压紧块位于所述的固定块的一侧，位于所述的板桥上；所述的固定块位于所述的压紧块和锁紧滑块之间，两侧分别与所述的压紧块和锁紧滑块相抵触；所述的锁紧滑块位于所述的固定块的一侧，与所述的固定块相抵触；所述的锁紧螺丝位于所述的锁紧滑块上，贯穿所述的锁紧滑块，与所述的板桥螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，所述的板桥上设置有支撑块，所述的支撑块位于所述的板桥的两端，与所述的压紧块相抵触，与所述的板桥固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，所述的支撑块设置有两个，对称分布在所述的板桥的两端。

4.根据权利要求1所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，所述的锁紧装置设置有多个，均匀分布在所述的板桥上。

5.根据权利要求4所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，每一个所述的锁紧装置均设置有两个固定块，对称分布在所述的锁紧滑块的两侧。

6.根据权利要求5所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，所述的锁紧滑块的横截面呈梯形外形，两侧的斜面分别与所述的固定块相配合，所述的锁紧滑块向下移动时，两侧斜面将所述的固定块向两侧推动。

7.根据权利要求1所述的一种晶硅晶圆抛光用工装，其特征在于，每一个所述的压紧块上设置有U型槽，所述的U型槽深入所述的压紧块，与代加工的晶圆相匹配。