[实用新型]单晶炉硅芯退火装置有效
| 申请号： | 202020196324.8 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN211471640U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李帅;吴海啸;宋永光;张建超;路家忠;李洋;刘凯珍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古和光新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 刘永珍 |
| 地址： | 010111 内蒙古自治区呼和浩特市经济*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉硅芯 退火 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶炉硅芯退火装置，其特征在于，包括石墨连杆、硅芯支架和硅芯托盘；
在竖直设置的所述石墨连杆的顶端设有与单晶炉内拉晶重锤底部的内螺纹相匹配的外螺纹；在所述石墨连杆的中部固定设有与所述石墨连杆同心设置的所述硅芯支架，在所述硅芯支架上均匀开设有若干通孔；在所述石墨连杆的底端固定设有与所述石墨连杆同心设置的所述硅芯托盘，在所述硅芯托盘上开设有若干凹槽；所述凹槽与所述通孔的数量相等，且每个所述凹槽均与对应的通孔位于同一竖直线上。
2.根据权利要求1所述的单晶炉硅芯退火装置，其特征在于，所述硅芯支架的数量为至少两个。
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