[实用新型]一种直拉单晶炉用石墨支撑环有效

专利信息
申请号: 202020191904.8 申请日: 2020-02-21
公开(公告)号: CN211814709U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 申连喜;赵永敬 申请(专利权)人: 嘉祥洪润电碳有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) 37254 代理人: 曾孟勍
地址: 272400 山东省济宁市嘉*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 直拉单晶炉用 石墨 支撑
【说明书】:

实用新型提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环,包括支撑环,所述支撑环的表面设置有防护层,所述防护层包括弹力层、防腐层和耐磨层,所述弹力层位于支撑环的外侧,所述防腐层位于弹力层的外侧,所述耐磨层位于防腐层的外侧。本实用新型通过弹簧的配合,支撑环受力,从而对弹簧进行挤压,通过弹簧的弹性回弹,继而对支撑环所受的力进行缓冲,通过弹力层的配合,从而对支撑环所受的力进行缓冲,防止支撑环容易受压变形,使用者需要多次对石墨支撑环进行更换,同时会严重影响直拉单晶炉的工作效率,解决了传统直拉单晶炉用石墨支撑环弹性效果差的问题,通过陶瓷化硅橡胶层和聚氨酯层的配合,增加了支撑环的弹性效果。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域,尤其涉及一种直拉单晶炉用石墨支撑环。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径,比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。

单晶炉在加工过程中需要用到石墨支撑环,然而传统直拉单晶炉用石墨支撑环的弹性效果差,导致石墨支撑环容易受压变形,使用者需要多次对石墨支撑环进行更换,会严重影响直拉单晶炉的工作效率,同时会增加产品的损坏率。

因此,有必要提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环,解决了传统直拉单晶炉用石墨支撑环弹性效果差的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种直拉单晶炉用石墨支撑环,包括支撑环,所述支撑环内腔的内壁固定连接有弹簧,所述弹簧的材质为硅锰合金,所述支撑环的表面设置有防护层,所述防护层包括弹力层、防腐层和耐磨层,所述弹力层位于支撑环的外侧,所述防腐层位于弹力层的外侧,所述耐磨层位于防腐层的外侧。

优选的,所述弹力层包括陶瓷化硅橡胶层和聚氨酯层,所述陶瓷化硅橡胶层位于支撑环的外侧,所述聚氨酯层位于陶瓷化硅橡胶层的外侧。

优选的,所述防腐层包括玻璃纤维层和环氧酚醛漆层,所述玻璃纤维层位于聚氨酯层的外侧,所述环氧酚醛漆层喷涂于玻璃纤维层的外侧。

优选的,所述耐磨层包括碳纤维层和隔热漆层,所述碳纤维层位于环氧酚醛漆层的外侧,所述隔热漆层喷涂于碳纤维层的外侧。

优选的,所述支撑环的正面从左至右均依次开设有定位孔,所述定位孔的数量为三个。

与相关技术相比较,本实用新型提供的一种直拉单晶炉用石墨支撑环具有如下有益效果:

本实用新型提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环,

1、本实用新型通过弹簧的配合,支撑环受力,从而对弹簧进行挤压,通过弹簧的弹性回弹,继而对支撑环所受的力进行缓冲,通过弹力层的配合,增加了支撑环的弹性效果,从而对支撑环所受的力进行缓冲,防止支撑环容易受压变形,使用者需要多次对石墨支撑环进行更换,同时会严重影响直拉单晶炉的工作效率,解决了传统直拉单晶炉用石墨支撑环弹性效果差的问题。

2、本实用新型通过陶瓷化硅橡胶层和聚氨酯层的配合,增加了支撑环的弹性效果,从而对支撑环所受到的力进行缓冲,通过玻璃纤维层和环氧酚醛漆层的配合,便于使用者增加支撑环的防腐蚀效果,减缓了外界因素对支撑环的腐蚀效果,延长了支撑环的使用寿命,通过碳纤维层和隔热漆层的配合,便于使用者提高支撑环的耐磨效果,减缓了外界因素对支撑环的磨损速度,从而延长了支撑环的使用寿命,通过定位孔的配合,增加了支撑环的定位效果,通过弹簧的配合,便于使用者增加支撑环的弹性效果,防止支撑环受力发生形变,延长了支撑环的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种直拉单晶炉用石墨支撑环的一种较佳实施例的结构示意图;

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