[实用新型]ALD硅片上下料装置有效

专利信息
申请号: 202020187092.X 申请日: 2020-02-19
公开(公告)号: CN212128295U 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 熊波 申请(专利权)人: 无锡市江松科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/458
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 朱晓林
地址: 214000 江苏省无锡市无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: ald 硅片 上下 装置
【说明书】:

本实用新型公开了ALD硅片上下料装置,涉及硅片搬运技术领域。包括至少四个花篮上下料运输线,每两个花篮上下料运输线对应一个舟输送平台,舟输送平台和花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片,舟输送平台与水平面存有夹角,夹角介于10°与35°之间,ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手,搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内,舟输送平台对接舟缓存平台。通过具有倾斜角度的舟输送平台,使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度,从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧,进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。

技术领域

本实用新型涉及硅片搬运技术领域,尤其涉及ALD硅片上下料装置。

背景技术

现有的ALD前道的硅片转运大多采用的是专利文件申请号为 2017211421906的硅片分片吸盘组件公开了一个硅片夹爪来进行硅片的抓取和放置,但是放置硅片在小舟里的时候,因为硅片放置的位置位于小舟间隔的中央,硅片难免会产生左右倾斜,从而导致硅片在小舟中的位置不能确定,进而使得后道工序对小舟中的硅片的获取难度增加,从而使得硅片运转的效率降低。

实用新型内容

为了保证硅片在小舟中的位置能够确定,本实用新型的技术方案提供了一种ALD硅片上下料装置。技术方案如下:

本实用新型提供了一种ALD硅片上下料装置,包括至少四个花篮上下料运输线,每两个花篮上下料运输线对应一个舟输送平台,舟输送平台和花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片,舟输送平台与水平面存有夹角,夹角介于10°与35°之间,花篮上下料运输线末端设有硅片顶出装置,硅片顶出装置被配置于将硅片顶升处花篮或承接硅片夹爪输送过来的硅片, ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手,搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内,舟输送平台对接舟缓存平台。

通过具有倾斜角度的舟输送平台,使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度,从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧,这样使得硅片在小舟的位置能够得以固定,进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。

特别地,花篮上下料运输线侧面设有硅片推齐装置,硅片推齐装置被配置于规整硅片位置。

具体地,硅片夹爪,包括夹爪部、连接架、夹爪旋转动力装置、安装架和解码器,夹爪部设置在连接架上,夹爪旋转动力装置通过带动轴与解码器连接,安装架与带动轴固定连接,解码器与夹爪旋转动力装置设置在连接架两侧,带动轴与夹爪旋转动力装置设置在安装架上。

通过解码器的设置使得夹爪旋转动力装置对于夹爪部的旋转角度可以更精密的进行控制,从而使得夹爪在下降的过程中能够实现夹爪部角度的微量调节,从而实现了硅片能够边微量旋转放入倾斜的舟的功能。

特别地,还包括光电感应开关,光电开关固定在安装架上,带动轴上对应光电开关设有挡片。

具体的,夹爪旋转动力装置通过联轴器与带动轴固定连接。

具体的,硅片夹爪还包括升降动力装置和横移动力装置,安装架安装在升降动力装置的活动端,升降动力装置的固定端安装在横移动力装置上。

通过升降动力装置和横移动力装置的设置,实现了夹爪部能够边旋转边升降边横移的动作,使得硅片入料篮的动作更加顺畅稳定。

特别地,夹爪旋转动力装置为旋转电机,升降动力装置为伺服电机与伺服丝杆,横移动力装置为伺服电机与伺服丝杆。

本实用新型的有益效果是:通过具有倾斜角度的舟输送平台,使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度,从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧,这样使得硅片在小舟的位置能够得以固定,进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。

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