[实用新型]一种掩膜板卡匣

说明书

本实用新型公开了一种掩膜板卡匣，涉及掩膜板放置卡匣技术领域，包括卡匣主体，所述卡匣主体上开设有放置口，所述卡匣主体内设置有承放板，所述承放板在卡匣主体中水平设置，所述承放板设置有若干组，各组所述承放板在卡匣主体中上下层叠设置，相邻所述承放板之间形成掩膜板放置腔，所述承放板上表面开设有用于放置掩膜板的放置槽，本实用新型提供了一次装载多块掩膜板、掩模板碰撞损坏、使用寿命长、成本低的一种掩膜板卡匣。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板放置卡匣技术领域，具体的说，它涉及一种掩膜板卡匣。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)及有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)的制造过程中，使用掩膜板(Mask)进行掩膜曝光工艺是非常重要的核心工艺，它既是决定产品品质的重要环节，也是影响产品良率的关键部分。

目前，在显示面板制造过程中，使用掩膜板卡匣进行装载和转运。现在的掩膜板通常是单片进行装载转运，费时费力，使用麻烦；而且转运过程中可能会发生掩膜板卡匣倾斜情况，从而造成掩膜板在掩膜板卡匣中滑动，撞击掩膜板卡匣的内壁，造成掩膜板出现损坏，该问题亟待解决。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种掩膜板卡匣，同时装载转运多块掩膜板，增加工作效率，且掩膜板装载过程中稳定性好。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种掩膜板卡匣，包括卡匣主体，所述卡匣主体上开设有放置口，所述卡匣主体内设置有承放板，所述承放板在卡匣主体中水平设置，所述承放板设置有若干组，各组所述承放板在卡匣主体中上下层叠设置，相邻所述承放板之间形成掩膜板放置腔，所述承放板上表面开设有用于放置掩膜板的放置槽。

本实用新型进一步设置为：每组所述承放板包括两块，两块所述承放板均设置同一高度，两块所述承放板分别设置在卡匣主体侧壁上，且两块所述承放板正对设置。

本实用新型进一步设置为：所述承放板可拆卸设置在卡匣主体上。

本实用新型进一步设置为：所述卡匣主体上设置有支撑角码，所述支撑角码设置有若干个，各组所述承放板下方均设置在支撑角码上表面。

本实用新型进一步设置为：每组所述承放板下方的支撑角码设置有若干个，且各所述支撑角码沿承放板长度方向间隔设置。

本实用新型进一步设置为：所述卡匣主体包括底板，所述底板上开设有孔洞。

本实用新型进一步设置为：所述底板下表面上设置有用于支撑掩膜板卡匣的支撑脚，所述支撑脚竖直设置。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、利用设置的层叠承放板同时将多块放置在掩膜板卡匣中，实现一次性多块掩膜板装载及转运，保证各掩膜板之间互不影响；通过设置的放置槽，使用时将掩膜板嵌设在放置槽中，使掩膜板稳定放置在掩膜板放置腔中，且掩膜板在转运过程中，可有效避免掩膜板在掩膜板卡匣中出现倾斜撞击其内壁的情况发生，从而有助于保证掩膜板的完整性；

2、承放板可拆卸设置在卡匣主体上，便于承放板日常的维护及检修，当某一承放板损坏后，可将该损坏的承放板单独拆卸进行更换，无需将整个掩膜板卡匣更换，有效节约使用成本；

3、利用设置承放板上开设的防滑槽，增加掩膜板与承放板之间的摩擦力，从而提高掩膜板放置在承放板上的稳定性；

4、利用设置的角码辅助支撑承放板，避免承放板局部受力，从而有助于延长整个掩膜板卡匣的使用寿命。

附图说明