[实用新型]一种气体排污管

说明书

本实用新型公开了一种气体排污管，包括内管和外管，内管套在外管的内部，且内管与外管之间留有一定的间隙，该间隙用于通入加热的氮气；内管的侧壁设置有通孔，该通孔沿内管的侧壁的圆周方向和长度方向分别设置为多个，该通孔用于将内管与外管之间的加热的氮气通入到内管中；外管还设置有进气口，进气口连接有进气管。内管与外管之间加热的氮气经通孔进入到内管中，加热的氮气可以对内管加热，使污染气体在内管中不易沉积在内管的内壁上；氮气又可以在真空作用下吹扫内管的侧壁，减小污染气体在内管的内壁上沉积的概率，减少了排污管侧壁上的残留物，增大了MTBC(平均清洁时距)，节省了人力和物力。

技术领域

本实用新型涉及干法蚀刻机相关技术领域，尤其涉及一种气体排污管。

背景技术

干法蚀刻机包括反应室、电源和真空部分，当利用干法蚀刻机进行制程工艺时，工件在被真空泵抽空的反应室进行反应，反应过程中会产生污染气体，污染气体直接经排污管被真空泵抽走。一般的污染气体是由各种特殊气体组成的，含有C、H、Cl和F等元素，甚至会含有一些金属，污染气体在排出的过程中温度逐渐降低，从而会产生在低温下固化并沉积在排污管的侧壁上的现象，尤其在排污管拐角和接头连接的地方会沉积较厚的残留物，这严重影响真空泵抽气效果甚至堵塞真空泵管路。现有的避免污染气体沉积在排污管的方法是在排污管外壁缠绕加热带，这种方法虽然可以一定程度上改善残留物沉积的现象，但是残留物不能完全清除。

实用新型内容

本实用新型提供了一种气体排污管，主要用于减少干法蚀刻机进行制程工艺时产生的污染气体沉积在排污管侧壁所产生的残留物。

为了解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：一种气体排污管，该气体排污管采用双套管形式，包括内管和外管，内管套在外管的内部，且内管与外管之间留有一定的间隙，该间隙用于通入加热的氮气；内管的侧壁设置有通孔，该通孔沿内管的侧壁的圆周方向和长度方向分别设置为多个，该通孔用于将内管与外管之间的加热的氮气通入到内管中；外管还设置有进气口，进气口连接有进气管，用于通入加热的氮气。

可选地，进气管上设置有阀门，进气管的外壁还设置有第一开关，第一开关与阀门电连接，并控制阀门的打开和关闭。

可选地，外管的外壁还包括超声换能器，该超声换能器配置有超声发生器和第二开关，第二开关与超声发生器电连接，超声发生器与超声换能器电连接，第二开关控制超声发生器的打开和关闭，从而控制超声换能器的机械振动。

本实用新型提供了一种气体排污管，内管与外管之间加热的氮气经通孔进入到内管中，确保干法蚀刻机进行制程工艺时内管充满加热的氮气。加热的氮气可以对内管加热，使污染气体在内管中不易被低温固化从而沉积在内管的内壁上；氮气又可以在真空作用下吹扫内管的侧壁，利用氮气的吹力作用使污染气体无法接触内管的内壁，减小污染气体在内管的内壁上沉积的概率。因此，该加热的氮气通入到内管中，减小了污染气体固化并沉积在排污管的侧壁上的可能性，减少了排污管侧壁上的残留物，增大了排污管的MTBC(平均清洁时距)，消除了首片晶片效应，以及降低了干法蚀刻机的定期保养，节省了人力和物力。

附图说明

图1是实施例一的一种气体排污管的结构示意图；

图2是实施例二的一种气体排污管的结构示意图。

图示说明：

1、内管 2、外管

3、通孔 4、进气管

5、第一开关 6、超声发生器

7、超声换能器 8、第二开关

具体实施方式