[实用新型]一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构

权利要求书

1.一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，该探针装置设置有后板、前架、真空吸附板，所述真空吸附板设置有横杆和平板，所述平板的表面设置有真空吸孔，所述平板的表面用于固定待测试的铝基板，所述待测试的铝基板通过真空吸附固定在该平板上，所述后板的左右两侧分别设置有左同步带和右同步带，所述前架上设置有左测试臂和右测试臂，其特征在于，所述横杆的左右两端分别安装在左同步带与右同步带上，从而左同步带与右同步带可以带动真空吸附板垂直地上下移动，所述左测试臂与右测试臂均设置有水平同步带、夹板、垂直同步带、支撑杆、探针夹头，所述水平同步带设置于前架上，所述夹板的一端安装在水平同步带上，所述夹板的另一端安装有所述支撑杆，所述支撑杆未连接在夹板上的端部设置在后板上并可以跟随夹板进行水平移动，所述垂直同步带安装在所述夹板上，所述探针夹头安装于所述垂直同步带上，所述探针夹头设置有探针，所述探针的一端安装在探针夹头上，另一端与所述待测试的铝基板表面接触。

2.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述左同步带与右同步带平行地设置，且左同步带与右同步带安装在相同的高度，所述平板在所述横杆的下方，所述夹板与所述横杆垂直，所述水平同步带与所述左同步带、右同步带相垂直，所述垂直同步带与所述左同步带、右同步带相平行。

3.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述真空吸附板还设置有真空气管，所述真空气管与所述平板上的真空吸孔连通，所述平板上的真空吸孔呈阵列排布。

4.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述左测试臂设置有第一水平同步带、第一夹板、第一垂直同步带、第一支撑杆、第一探针夹头，所述第一夹板与所述横杆垂直，所述第一水平同步带设置于前架的下部，所述第一夹板的底端安装在第一水平同步带上，所述第一夹板的顶端安装所述第一支撑杆，所述第一支撑杆远离第一夹板的端部设置在后板上并可以跟随第一夹板进行水平移动，所述后板的顶部设置有第一轨道槽，所述第一轨道槽容纳所述第一支撑杆远离第一夹板的端部，所述第一垂直同步带安装在所述第一夹板上，所述第一探针夹头设置于所述第一垂直同步带上，所述第一探针夹头设置有第一探针，所述第一探针的一端安装在第一探针夹头上，所述第一探针的另一端与所述待测试的铝基板表面接触。

5.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述右测试臂设置有第二水平同步带、第二夹板、第二垂直同步带、第二支撑杆、第二探针夹头，所述第二夹板与所述横杆垂直，所述第二水平同步带设置于前架的上部，所述第二夹板的顶端安装在第二水平同步带上，所述第二夹板的底端安装所述第二支撑杆，所述第二支撑杆远离第二夹板的端部设置在后板上并可以跟随第二夹板进行水平移动，所述后板的底部设置有第二轨道槽，所述第二轨道槽容纳所述第二支撑杆远离第二夹板的端部，所述第二垂直同步带安装在所述第二夹板上，所述第二探针夹头设置于所述第二垂直同步带上，所述第二探针夹头设置有第二探针，所述第二探针的一端安装在第二探针夹头上，所述第二探针的另一端与所述待测试的铝基板表面接触。

6.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述水平同步带的长度小于所述横杆的长度，所述水平同步带与所述横杆平行。

7.根据权利要求1所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述夹板的长度大于所述左同步带的长度，所述夹板的长度大于所述右同步带的长度。

8.根据权利要求4所述的一种铝基板测试用高效率高精度探针装置的结构，其特征在于，所述第一夹板的长度大于所述第一垂直同步带的长度，所述第一垂直同步带的长度大于所述左同步带的长度，所述第一垂直同步带的长度大于所述右同步带的长度。