[实用新型]一种痕量气体分析设备的预处理系统

权利要求书

1.一种痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，包括捕集阱a、捕集阱b、冷盘、真空仓、阀组、制冷系统和加热控制系统；所述捕集阱a与所述捕集阱b固定在所述冷盘上，所述捕集阱a和所述捕集阱b与所述冷盘位于所述真空仓内，所述冷盘与所述制冷系统相连，所述捕集阱a和所述捕集阱b通过气体管路分别与所述阀组相连，所述捕集阱a和所述捕集阱b通过导线分别与所述加热控制系统相连。

2.根据权利要求1所述的痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，所述阀组包括：中转阀、捕集阱a控制阀、捕集阱b控制阀；所述中转阀、捕集肼a控制阀、捕集肼b控制阀均为多通道切换阀；

所述中转阀通过气体管路分别与样品气入口、载气入口、所述捕集阱a控制阀入口、所述捕集阱a控制阀出口、所述捕集阱b控制阀入口、气体出口相连通；

所述捕集阱a控制阀通过气体管路分别与所述捕集阱a入口、所述捕集阱a出口、所述中转阀相连通；

所述捕集阱b控制阀通过气体管路分别与所述捕集阱b入口、所述捕集阱b出口、所述中转阀和分析系统相连通。

3.根据权利要求1所述的痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，所述阀组还包括样品切换阀；所述样品切换阀为多位选通阀，与多个样品气入口和中转阀分别相连。

4.根据权利要求2所述的痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，所述捕集阱b控制阀通过气体管路还与载气入口相连通，方便对管路反吹，减少管路内残存的气体。

5.根据权利要求2所述的痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，所述中转阀与所述气体出口相连通的管路上设置有气体流量控制器。

6.根据权利要求2所述的痕量气体分析设备的预处理系统，其特征在于，所述捕集阱a入口与所述中转阀相连通的管路上，以及所述中转阀与所述样品气入口相连通的管路上设有气体干燥器。