[实用新型]真空等离子设备

说明书

本实用新型提供了真空等离子设备，包括等离子设备主体及真空泵，真空泵位于等离子设备主体所在的第一箱体外，还包括第二箱体，真空泵位于第二箱体内，第二箱体一面上固定第一连接圈，第一箱体至少两面上固定第二连接圈，第一连接圈与第二连接圈通过螺栓固定，真空泵进气口处设连接管，连接管另端与等离子体设备主体的腔室内连通，第二箱体内铺设有消音层，本真空等离子设备主用于清洗工件，主要改进点在于真空泵的安装结构，增设第二箱体，通过第一连接圈、第二连接圈的配合，使第一箱体、第二箱体固定，分体式结构便于调整位置，便于厂房或实验室布局安装，并在第二箱体内安装消音层，大幅降低第二箱体内的真空泵产生的噪音，工作环境更舒适。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，尤其涉及真空等离子设备。

背景技术

等离子处理装置工作原理：对气体施加足够的能量使其离化成等离子状态，进而处理工件样品，实现清洁等目的，市面上等离子清洗机一般利用真空泵抽取清洗腔内气体，维持一定真空度，部分型号中，真空泵与等离子设备主体为分体式安装，真空泵位置可调整，便于等离子清洗机的布局安装，但缺点在于，真空泵开放式置于厂房或实验室中，其工作时产生的噪音易对工作人员健康造成影响，需要改进。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供真空等离子设备，以解决上述问题。

本实用新型的技术方案是：

真空等离子设备，包括等离子设备主体及真空泵，真空泵位于等离子设备主体所在的第一箱体外，还包括第二箱体，真空泵位于第二箱体内，第二箱体一面上固定第一连接圈，第一箱体至少两面上固定第二连接圈，第一连接圈与第二连接圈通过螺栓固定，真空泵进气口处设连接管，连接管另端与等离子体设备主体的腔室内连通，第二箱体内铺设有消音层。

本真空等离子设备主用于清洗工件，主要改进点在于真空泵的安装结构，增设第二箱体，通过第一连接圈、第二连接圈的配合，使第一箱体、第二箱体固定，分体式结构便于调整位置，便于厂房或实验室布局安装，并在第二箱体内安装消音层，大幅降低第二箱体内的真空泵产生的噪音，工作环境更舒适。

进一步，第二箱体相邻两面上开孔，连接管自其一孔穿过，另一孔以螺纹盖密封，当第二箱体换面安装在第一箱体时，两孔结构便于连接管的伸出连接。

进一步，还包括消音筒，消音筒与固定在第二箱体顶面上的连接端螺纹啮合连接。

进一步，消音筒包括筒体，筒体中心线上径向，呈辐射状固定消音板，筒体内周壁上铺设消音层。

进一步，消音层包括顶面和底面的多孔板以及填充在二者之间的消音棉。

增设消音筒，一方面便于第二箱体内气体的扩散，有利于散热，二方面在于消音筒内消音层进一步降低噪音。

进一步，连接管为软管，如橡胶管，具备弹性，便于换面安装。

附图说明

图1：实施例1中本实用新型的结构图；

图2：消音筒俯视结构图；

图中：1、等离子设备主体；2、真空泵；3、连接管；4、第二连接圈；5、第一连接圈；6、消音筒；7、连接端；8、第二箱体；9、消音层；10、第一箱体；61、筒体；62、消音板。

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步详述，以使本实用新型技术方案更易于理解和掌握。

实施例1