[实用新型]基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器

权利要求书

1.一种基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：包括依次套置的三个管件及套置在最外侧管件端部的连接件，最内侧管件的喷头端部连接内氧喷嘴，最内侧管件另一端连通氧气；在最内侧管件的内氧喷嘴端和中间管件间形成氢气通道，在中间管件和最外侧管件间形成外氧通道，该外氧通道连通氧气；所述连接件套置在内氧喷嘴上，并置于晶体生长室顶部，连接件上与各通道连接端分别对应开有多个通孔，由内氧喷嘴至外分别形成氢气喷嘴及外氧喷嘴，各个喷嘴喷出的气体喷入晶体生长室，保证晶体熔体及其生长界面处于富氧气氛当中。

2.根据权利要求1所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述连接件端部连接有法兰，所述法兰间隔在外氧喷嘴和氢气喷嘴之间，促使氢气和内氧而不是外氧充分燃烧并加热内氧。

3.根据权利要求1所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述内氧喷嘴的中心孔径为2.5-3.5mm。

4.根据权利要求1所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述氢气喷嘴沿圆周开有的数量为6-10个,其中心孔径为1-3mm。

5.根据权利要求1或4所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述氢气喷嘴的分布圆直径为18-24mm。

6.根据权利要求1或4所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述外氧喷嘴沿圆周开有的数量为6-10个，其中心孔径为1-2mm。

7.根据权利要求6所述基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器，其特征在于：所述外氧喷嘴的分布圆直径为32-36mm。