[实用新型]一种探针卡

说明书

本实用新型公开了一种探针卡，该探针卡包括探针卡基板、接触片、与接触片电连接的导线、以及探针组。接触片设置于探针卡基板上。至少一个探针组为四探针组，四探针组中的每个探针都经由导线连接至其中一个接触片。四探针组包括两个电压采集探针和两个电流采集探针。电流采集探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触，并且电压采集探针所连接的接触片与测试机台的电压测试头接触。该探针卡尤其适用于小电阻的精确测量。

技术领域

本实用新型涉及元件电学参数测量领域，尤其涉及一种探针卡。

背景技术

在元件参数量测过程中，电阻量测是一项非常重要的参数量测，用来反映元件特性和生产线上的问题。测量时，探针卡直接加到测试键上，采用加电压，测试电流，然后计算得到相关电阻。但由于探针与被测电阻之间存在接触电阻，大小约为1欧姆，在测量较大电阻时，接触电阻的影响可以忽略。但是当被测电阻较小时，就很容易受到影响，使测试结果不稳定。

面对这种情况，通常是通过改变版图结构来避免此类影响。但对于已经生效的产品，修改版图花费成本较高，对于实际生产而言不可行。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种探针卡。该探针卡尤其适用于小电阻的精确测量。

根据本实用新型的一方面，提供一种探针卡，该探针卡包括：

探针卡基板，

接触片，所述接触片设置于所述探针卡基板上，

与所述接触片电连接的导线；以及

探针组，至少一个所述探针组为四探针组，所述四探针组中的每个探针都经由所述导线连接至其中一个所述接触片，所述四探针组包括两个电压采集探针和两个电流采集探针，所述电流采集探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触，并且所述电压采集探针所连接的接触片与测试机台的电压测试头接触。

根据本实用新型的一个实施例，接触片为金属。

根据本实用新型的一个实施例，接触片为铜。

根据本实用新型的一个实施例，接触片的数量与所述探针的数量相同。

根据本实用新型的一个实施例，探针组还包括两探针组，所述两探针组包括两个电流采集探针，并且所述两探针组中的探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触。

根据本实用新型的一个实施例，在测试状态下所述四探针组的一个电压采集探针与一个电流采集探针连接至被测电阻的同一测试键上，剩余的另一电压采集探针和另一电流采集探针连接至被测电阻的另一测试键上。

根据本实用新型的一个实施例，在测试状态下所述四探针组的电压采集探针设置在所述电流采集探针之间。

根据本实用新型的一个实施例，施加在所述电流采集探针上的电流为1mA-10mA。

由于具有上述结构，本实用新型的探针卡可以获得以下多种有益效果：

(1)采用本实用新型的上述四探针组对小电阻进行测量时可以有效避免接触电阻对于测量结果的影响，因此，本实用新型的四探针组可以实现小电阻的精确测量；

(2)当需要进行其他测量时，两个电压采集探针容许其悬置，对其他测试项无影响。

附图说明

图1是根据本实用新型的一个实施例的探针卡的示意图；

图2是使用本实用新型的一个实施例的探针卡进行测量的示意图；

图3示出了使用现有技术的探针卡与使用本实用新型的探针卡进行测试的结果对比图。

在图中：