[实用新型]一种铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置

权利要求书

1.一种铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，包括蚀刻机(1)及过滤装置(2)，其特征在于：所述蚀刻机(1)设有输送带(3)，所述输送带(3)上方设有喷淋头(4)，输送带(3)的下方设有接液盘(5)，所述接液盘(5)呈漏斗状，接液盘(5)底部设有送液口，接液盘(5)分别通过第一管道(6)及第二管道(7)与第一静置池(8)及第二静置池(9)连通，所述第一管道(6)及所述第二管道(7)分别设有第一阀门(19)及第二阀门(20)，第一静置池(8)及第二静置池(9)分别通过第三管道(12)及第四管道(13)与第一抽送泵(10)及第二抽送泵(11)的输入端连通，所述第三管道(12)及所述第四管道(13)的输入端分别与第一静置池(8)及第二静置池(9)的底部存在间隙，所述第一抽送泵(10)及所述第二抽送泵(11)的输出端分别与所述过滤装置(2)的输入端连通，过滤装置(2)包括若干个并联连接的过滤器(14)，过滤装置(2)的输出端与废液储存池(21)连通。

2.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述第一静置池(8)及所述第二静置池(9)均设有上液位传感器(15)及下液位传感器(16)。

3.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述过滤器(14)的输入端均设有第三阀门(17)，过滤器(14)的输出端设有流量计。

4.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述第一静置池(8)及所述第二静置池(9)的底部设有排放阀门。

5.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述废液储存池(21)设有采样口。

6.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述第一阀门(19)及所述第二阀门(20)为电磁阀。

7.根据权利要求1所述的铜箔基板碱性蚀刻废液回收过滤装置，其特征在于：所述送液口处设有过滤网(18)。