[实用新型]一种激光输出耦合装置的调谐机构

说明书

本实用新型涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置的调谐机构。调谐机构包括输出耦合镜组件和调节组件；调节组件包括底板，第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，耦合镜组件的定位块可转动地压紧在底板上的凹槽内；本实用新型提供的激光输出耦合装置的调谐机构有效解决了现有的一体式结构的旋杆调谐时由于摩擦力带来的旋转不畅现象。

技术领域

本申请涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置的调谐机构。

背景技术

在高端光刻领域，高重频准分子激光因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的占绝对主导地位的光源。

在高重频准分子激光器系统中，光学输出会遇到诸多问题，首先遇到的便是从放电腔发出的激光不能满足窄线宽和大能量需求。

对此，一般采用增加具有一定反射率和透过率的输出耦合镜对输出激光进行折返振荡，使其增大能量并进行线宽压窄后输出。在输出耦合装置的调谐过程中，往往需要在谐振腔状态下花费较长时间调试才能够得到能量较高的输出光，而且输出光与调节位置方向相同的传统结构不仅增加了调谐难度也提高了调节过程中的人员危险，传统输出耦合装置两端的连接方式为悬臂式法兰连接，其安装后不够稳定，连接完整光路后，调谐结果会再次产生偏差。另外，对于高重频准分子激光来说，输出光位置需开机启动才能确定具体位置，对激光器系统对接造成了不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光输出耦合装置的调谐机构，以解决现有输出耦合装置调节难度高，且调节过程中存在人员危险的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种激光输出耦合装置的调谐机构，所述调谐机构包括输出耦合镜组件和调节组件；

所述调节组件包括底板，第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；

所述底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；

所述输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；

所述输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在所述激光输出耦合装置上，所述耦合镜组件的定位块可转动地压紧在所述底板上的凹槽内；

所述第一调节球位于所述第一导轨和所述斜面形调节销之间，所述第一调节杆组件的一端与第一调节球接触，第一调节球在第一调节杆组件的推动下可延第一导轨滑动；

所述第二调节球位于所述第二导轨和所述凹面形调节销之间，所述第二调节杆组件的一端与第二调节球接触，第二调节球在第二调节杆组件的推动下可延第二导轨滑动。

优选地，所述斜面形调节销，凹面形调节销和定位块呈三角形分布。

优选地，所述导轨可为V型槽导轨，梯形槽导轨或球面凹槽导轨。

优选地，所述凹槽为球面凹槽、锥面凹槽或截头锥面凹槽。

优选地，所述斜面形调节销的斜面为楔面或斜凹面。

优选地，所述凹面形调节销的凹面为V形、梯形、凹球面形或矩形。

优选地，所述凹面形调节销为斜面V形调节销、斜面梯形、斜面凹球面形或斜面矩形调节销。

优选地，所述定位块为球形定位块或截头锥形定位块。

优选地，所述第一调节杆组件和第二调节杆组件的长度不同。

优选地，所述调谐机构还包括狭缝，所述狭缝位于所述输出耦合镜组件与所述调节组件的底板之间。