[实用新型]一种滤光片蒸发镀膜装置有效
申请号: | 202020103450.4 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN211522313U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 王聪 | 申请(专利权)人: | 九江鑫凯威光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 姬春红 |
地址: | 332000 江西省九江市九江经济技术开*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 滤光 蒸发 镀膜 装置 | ||
本实用新型公开了一种滤光片蒸发镀膜装置,包括真空镀膜机和转板,所述转板通过转动杆可转动的固定在真空镀膜机的内部,且转板的转动杆与真空镀膜机外壁上固定的步进电机传动连接,所述转板的上端和下端表面均固定有固定板,且固定板的外侧通过连杆固定有夹持板,夹持板贯穿固定板两端的通孔,且连杆的末端焊接固定有限位板,限位板与固定板之间的连杆外圈套置固定有弹簧。本实用新型通过在真空镀膜机内设置可转动的转板,并在其上端和下端表面均设置有固定板和夹持板,可以将滤光片固定后被带动在真空镀膜机内在不同平面上转动,能够实现均匀镀膜的目的,且上下端均可以固定滤光板,镀膜的效率较高。
技术领域
本实用新型涉及滤光片镀膜技术领域,具体为一种滤光片蒸发镀膜装置。
背景技术
目前,滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用,带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件,带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的,其利用电介质金属膜的干涉作用来从入射光中选取特定波段的光使其通过,滤光片的镀膜多使用镀膜机。
专利号为CN201822049098.6公布了一种滤光片蒸发镀膜装置,包括蒸镀室,所述蒸镀室的一侧通过管道连通有真空泵,所述蒸镀室远离真空泵的一侧连通有进气管,所述进气管的中部依次设置有过滤器和气阀,所述蒸镀室的内壁底部固定连接有连接框。
在实现该技术方案时,至少还存在以下缺陷:1.通过使滤光片在镀膜机内被转盘带动转动的方式来提高镀膜的均匀性,然而仅靠带动滤光片在同一个平面上转动,不能够较好的使滤光片接触到镀膜机内不同高度分布的蒸发材料,镀膜不够均匀,且镀膜数量少导致效率低。因此,我们提出一种滤光片蒸发镀膜装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种滤光片蒸发镀膜装置,通过在真空镀膜机内设置可转动的转板,并在其上端和下端表面均设置有固定板和夹持板,可以将滤光片固定后被带动在真空镀膜机内在不同平面上转动,能够实现均匀镀膜的目的,且上下端均可以固定滤光板,镀膜的效率较高,解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种滤光片蒸发镀膜装置,包括真空镀膜机和转板,所述转板通过转动杆可转动的固定在真空镀膜机的内部,且转板的转动杆与真空镀膜机外壁上固定的步进电机传动连接;
所述转板的上端和下端表面均固定有固定板,且固定板的外侧通过连杆固定有夹持板,夹持板贯穿固定板两端的通孔,且连杆的末端焊接固定有限位板,限位板与固定板之间的连杆外圈套置固定有弹簧,所述夹持板和固定板的内侧均开设有卡槽,夹持板和固定板均为多个,且多个夹持板和多个固定板均匀的分布在转板的上端和下端外圈,所述转板的外圈设置有网板。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述固定板的卡槽和夹持板的卡槽表面均贴合固定有橡胶垫,且橡胶垫为多个。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述固定板通过焊接板焊接固定在转板的表面,且焊接板与固定板焊接固定。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述转板的转动杆通过轴承可转动的固定在真空镀膜机内。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述步进电机与真空镀膜机的控制电脑电性连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1.本实用新型的滤光片蒸发镀膜装置,通过在真空镀膜机内设置可转动的转板,并在其上端和下端表面均设置有固定板和夹持板,可以将滤光片固定后被带动在真空镀膜机内在不同平面上转动,能够实现均匀镀膜的目的,且上下端均可以固定滤光板,镀膜的效率较高。
2.本实用新型的滤光片蒸发镀膜装置,通过使固定板的卡槽和夹持板的卡槽表面均贴合固定有橡胶垫,且橡胶垫为多个,在使夹持板靠近固定板使滤光片被固定在卡槽内的时候,橡胶垫对滤光片能够具有一定的保护作用。
附图说明
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