[实用新型]一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪

权利要求书

1.一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，所述微型芯片光谱仪包括光谱粗分割单元A、可调谐环形滤波器B、采样光谱记录与还原单元C以及参考单元D，所述粗分割单元A的上输出端和所述可调谐环形滤波器B的输入端相连接，所述粗分割单元A的下输出端和所述参考单元D连接，所述可调谐环形滤波器B的输出端和所述采样光谱记录与还原单元C通过一个1×2的分束器相连接。

2.如权利要求1所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，所述光谱粗分割单元A包括一个1×M的光开关、一个M×2的波分复用器、一个2×2的3dB耦合器，且1×M的光开关的M个输出端口分别连接于M×2的波分复用器的M个输入端口，M×2的波分复用器的两个输出端口分别连接于2×2的3dB耦合器的两个输入端口。

3.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，所述可调谐环形滤波器B的谐振波长位置由波导上方的加热器来调谐，可调谐环形滤波器B的调谐区域包含一个环或者是多个级联环。

4.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，所述采样光谱记录与还原单元C包含一个1×N功分器、N个1×1MZI、N个探测器，其中相邻MZI之间具有固定长度差ΔL，N个探测器是一个能接收所有MZI阵列输出光的相机。

5.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，所述参考单元D包含一个探测器。

6.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪，其特征在于，分辨率最小值Δλ_{R_min}由可调谐环形滤波器B中的微环的3dB带宽值Δλ_3dB决定，实际使用的分辨率值Δλ_R由对加热器的调谐步长确定，介于Δλ_3dB和微环的自由光谱范围Δλ_FSR之间，即Δλ_3dB≤Δλ_RΔλ_FSR。