[实用新型]金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置

权利要求书

1.金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：包括激光加工系统和样品运动系统；所述激光加工系统包括激光器(1)、扩束镜(2)、机械快门(3)、激光能量控制器(4)、反射镜(5)和聚焦物镜(6)，所述激光器(1)、扩束镜(2)、机械快门(3)、激光能量控制器(4)、反射镜(5)和聚焦物镜(6)依序设置以使激光器(1)产生的激光依次通过扩束镜(2)、机械快门(3)、激光能量控制器(4)、反射镜(5)和聚焦物镜(6)以聚焦；所述样品运动系统包括三维位移台(8)和置放在三维位移台(8)上的镀有金属膜(72)的脆性材料基底(71)；所述激光加工系统的激光聚焦到镀有金属膜(72)的脆性材料基底(71)上表面以写入微孔图案。

2.根据权利要求1所述的金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：还包括控制部分(9)，所述控制部分(9)连接激光器(1)、机械快门(3)和三维位移台(8)以在脆性材料基底(71)上表面写入微孔图案。

3.根据权利要求1所述的金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：所述激光能量控制器为中性密度滤光片，或，为半波片和薄膜偏振片的组合，以控制作用在脆性材料基底(71)的激光脉冲能量。

4.根据权利要求1所述的金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：所述金属膜(72)材料为金、银、铜、铝、铂、钛其中之一或其合金，且所述金属膜(72)厚度介于10纳米至500纳米之间。

5.根据权利要求1所述的金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：所述金属膜(72)包含有一层同种金属材料或一层金属合金材料或多层不同金属材料。

6.根据权利要求1所述的金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置，其特征在于：所述脆性材料基底(71)为玻璃、蓝宝石、碳化硅、硅、砷化镓、氮化镓、金刚石、陶瓷和石材中的至少一种。