[实用新型]一种干法去胶机驱动装置有效

专利信息
申请号: 202020069389.6 申请日: 2020-01-13
公开(公告)号: CN212161771U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 廖海涛;孙文彬 申请(专利权)人: 无锡市邑勉微电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 代理人: 金辉
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 干法去胶机 驱动 装置
【权利要求书】:

1.一种干法去胶机驱动装置,其特征在于:具有安装座(1),所述安装座(1)的下端连接有电机安装座(11),所述电机安装座(11)连接有升降电机(12),所述升降电机(12)向所述安装座(1)的上端垂直延伸有升降丝杆(13),所述升降丝杆(13)连接有第一驱动装置,所述第一驱动装置具有第一驱动轴(14)、第一驱动装置安装座(21)、第一驱动电机(22)、第一驱动电机安装座(23)、第一日内瓦齿轮组(24),所述第一驱动轴(14)连接有第二驱动装置,所述第二驱动装置具有第二驱动轴(15)、第二驱动装置安装座(31)、第二驱动电机(32)、第二驱动电机安装座(33)、第二日内瓦齿轮组(34)。

2.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置,其特征在于:所述第二驱动装置安装座(31)的上方连接有密封圈(35)。

3.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置,其特征在于:所述安装座(1)连接有位置传感器(16)。

4.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置,其特征在于:所述第一驱动电机(22)和所述第二驱动电机(32)为R轴驱动电机。

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