[实用新型]一种晶棒开方用可移动上下料装置

说明书

本实用新型涉及一种晶棒开方用可移动上下料装置，包括上下料底座、滑动设置在上下料底座上的滑动台、以及滑动设置在滑动台上的上下料台。所述上下料台包括上下移动板、设置在上下移动板顶部的前后移动板、以及设置在前后移动板顶部的上料组件和下料组件。本实用新型实现在硅棒开方设备的多个构件之间运输硅棒，减少人力搬运硅棒，提高硅棒加工效率。

技术领域

本实用新型属于硅棒加工技术领域，具体地说涉及一种晶棒开方用可移动上下料装置。

背景技术

目前国内外对硅棒加工，不管是传动的加工方式还是最新主流的加工方式，开方、磨削工序都存在硅棒频繁上料、下料、转运、重复装夹等问题。这些问题导致增加人工、增加物料转运的成本。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，发明人在长期实践中研究设计出一种晶棒开方用可移动上下料装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶棒开方用可移动上下料装置，包括上下料底座、滑动设置在上下料底座上的滑动台、以及滑动设置在滑动台上的上下料台。所述上下料台包括上下移动板、设置在上下移动板顶部的前后移动板、以及设置在前后移动板顶部的上料组件和下料组件。

进一步地，所述上下移动板一侧设有固定基板，所述上下移动板通过上下移动导轨固定在固定基板上。

进一步地，所述前后移动板底部设有前后移动导轨，所述前后移动板后端设有前后移动同步带，所述前后移动同步带底部连接前后移动伺服电机。

进一步地，所述前后移动板一端设有前后移动护罩。

进一步地，所述上料组件包括上料底座，沿所述上料底座长度方向的两端分别设有第一夹紧板和硅棒夹紧气缸。

进一步地，所述硅棒夹紧气缸通过气缸支撑座固定在所述上料底座上，所述气缸支撑座内部设有空腔，空腔内设有前后位置检测探针。

进一步地，所述硅棒夹紧气缸靠近第一夹紧板一侧连接第二夹紧板；所述第二夹紧板底部设有第二夹紧板支撑座，第二夹紧板支撑座底部设有第二夹紧板导轨。

进一步地，所述第二夹紧板支撑座面向所述硅棒夹紧气缸一侧设有基准板，所述前后位置检测探针一端固定在基准板上；所述第一夹紧板与所述第二夹紧板之间设有上料支撑板，上料支撑板底部固定在所述上料底座上。

进一步地，所述下料组件包括夹爪和夹爪气缸，所述夹爪的一端与所述夹爪气缸的活塞端固连，其另一端为自由端；所述夹爪上固设有晶向检测装置。

进一步地，所述夹爪和夹爪气缸均平行设置3个。

本实用新型的有益效果是：

1)由于上下料底座的设置，且上下料台可通过滑动台在上下料底座上滑动，能有效增加上下料台的行走距离，实现在硅棒开方设备的多个构件之间运输硅棒，减少人力搬运硅棒，提高硅棒加工效率。

2)将上料组件和下料组件一体化设置，可实现硅棒的上料和下料两种作业，节省了再单独生产下料设备的成本，同时，通过在硅棒下料组件上设置晶向检测装置，在运输硅棒的途中即可完成硅棒晶向检测，节省时间，提高了硅棒加工的效率，应用前景更广。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型上下移动板和前后移动板部分的结构示意图；

图3是本实用新型上料组件的结构示意图。