[实用新型]一种软性吸盘装置

说明书

本实用新型公开了一种软性吸盘装置，包括底板、围绕底板下表面并与贴合的软性密封环，所述软性密封环与底板之间围成一个容腔；底板上具有与容腔连通的抽气孔；吸盘装置与外延片接触后，软性密封环与外延片边缘充分接触，整体上形成密闭空间，通过容腔上的抽气孔抽气，形成负压，实现装取片。软性密封环与外延片边缘接触不会对外延片接触部分造成压痕、压伤的现象，有效提升了外延片良率。同时，采用软性密封环上的燕尾槽与燕尾连接件的连接方式，使软性密封环磨损后可以拆卸替换，而不需要造成整体吸盘装置的报废。

技术领域

本实用新型应用在平板外延生长设备领域，具体地说是一种平板外延炉用吸盘装置。

背景技术

平板外延炉是外延生长的主要设备，分单片炉与多片炉，现阶段多片外延炉装取片主要是通过吸盘类装置完成。现阶段外延市场向着大尺寸、厚层方向发展，对外延片质量良率要求越来越高，原有的硬质吸盘装置很容易压伤外延片边缘，特别是大尺寸，厚层产品边缘压痕严重，增加了外延片报废的风险。同时，吸盘装置与外延片压迫的部分也会受到损伤或者磨损，当吸盘部分该部分损伤或者磨损后，吸盘则整体报废，造成浪费。

故，需要一种新的技术方案以解决上述技术问题。

发明内容

发明目的：本实用新型的目的是为了减少现有硬质吸盘给外延片表面边缘造成的压痕压伤，提供一种平板外延用软性吸盘装置，同时也解决吸盘与外延片接触部分磨损后只能整体报废的问题。

技术方案：本实用新型可采用以下技术方案：

一种软性吸盘装置，包括底板、围绕底板下表面并与贴合的软性密封环，所述软性密封环与底板之间围成一个容腔；底板上具有与容腔连通的抽气孔；所述软性密封环与底板之间通过若干燕尾连接件相互连接，底板下表面具有第一燕尾槽，软性密封环上表面具有与第一燕尾槽相对配合的第二燕尾槽，所述燕尾连接件的上下两端的宽度大于中间的宽度，即上端具有卡在第一燕尾槽内安装固定的第一燕尾部，下端具有卡在第二燕尾槽内安装固定的第二燕尾部。

有益效果：本实用新型的原理是所述的吸盘装置与外延片接触后，软性密封环与外延片边缘充分接触，整体上形成密闭空间，通过容腔上的抽气孔抽气，形成负压，实现装取片。相对于现有技术，因为是软性密封环与外延片边缘接触，不会出现现有技术中硬质石英吸盘对外延片接触部分造成压痕、压伤的现象，有效提升了外延片良率。同时，采用软性密封环上的燕尾槽与燕尾连接件的连接方式，使软性密封环磨损后可以拆卸替换，而不需要造成整体吸盘装置的报废。

附图说明

图1是本实用新型中吸盘装置的结构示意图。

图2是本实用新型中底板和软性密封环装配后的立体图。

图3是本实用新型中燕尾连接件的侧视结构示意图。

图4是图2的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。