[实用新型]一种晶圆转置装置

权利要求书

1.一种晶圆转置装置，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上安装有第一转置盒(2)，第一转置盒(2)内放置有待转置的晶圆(3)，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒(8)，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板(1)的底部安装有滑动组件(6)，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把(4)，推把上安装有活动挡板(5)，活动挡板(5)的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。

2.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述第一转置盒(2)和第二转置盒(8)通过定位板(7)固定在底板上。

3.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述推把(4)的上边沿一端为凹槽结构。

4.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述滑动组件(6)包括滑块，所述底板的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述推把(4)的一端与所述滑块固定连接。

5.如权利要求3所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述活动挡板(5)的中间位置铰接有支撑板(9)，支撑板的一端铰接在活动挡板上，另一端可以抵在推把的凹槽里。

6.如权利要求1所述的晶圆转置装置，其特征在于，所述底板上设置有安装孔。