[实用新型]一种干冰喷砂辅助工装

说明书

本实用新型是一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座和位于下安装座正上方的上安装座，其特征在于，所述下安装座上固接有下固定座，所述上安装座底部固接有与所述下固定座对应的上固定座。本实用新型结构简单合理，使用便捷，通过提供一种干冰喷砂辅助工装，便于固定部件，保证了部件在干冰喷砂过程中不会发生位移，使得部件中的每个小孔可以彻底清洁干净，通过设置安有上外缘放置槽的上固定座，以及安有下外缘放置槽的下固定座，可以保护部件外缘密封面不被干冰砂砾损坏，清洗过程中减少了碰伤部件的情况，此外，通过在上支柱和下支柱上分别设置上滑轮孔和下滑轮孔，便于安装塑料滑轮，防止了部件之间的摩擦损伤。

技术领域

本实用新型涉及喷砂辅助装置技术领域，尤其涉及一种干冰喷砂辅助工装。

背景技术

半导体设备中的蚀刻机台是常用刻蚀装置，其中，机台中的部件因结构中有许多小孔结构，在清洗过程中需要使用干冰喷砂工艺。然而，当前在对机台中的部件进行清洗过程中通常没有专用辅助工装，不便于干冰喷砂作业，部件在干冰喷砂过程中会发生位移，使得部件中的每个小孔清洁不干净，在清洗过程中易碰伤部件，而且部件外缘密封面易被干冰砂砾损坏。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种干冰喷砂辅助工装。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座和位于下安装座正上方的上安装座，其特征在于，所述下安装座上固接有下固定座，所述下固定座的左右两端设有对应的下支柱，所述下支柱竖直固接在所述下安装座上，所述下固定座上设有呈弧形结构的下外缘放置槽，左右所述下支柱上设有对应的下滑轮孔，所述上安装座底部固接有与所述下固定座对应的上固定座，所述上固定座的左右两端设有对应的上支柱，所述上支柱竖直固接在所述上安装座上并且与所述下支柱一一对应，所述上固定座上设有呈弧形结构的上外缘放置槽，所述上外缘放置槽与所述下外缘放置槽对应设置，左右所述上支柱上设有对应的上滑轮孔，所述下支柱的内壁和所述上支柱的内壁上均设有固定槽，上下所述固定槽分别与所述上外缘放置槽、所述下外缘放置槽相连通，所述下支柱上的固定槽与所述下滑轮孔连通，所述上支柱上的固定槽与所述上滑轮孔连通，所述下支柱的顶端和所述上支柱的底部安有连接机构。

所述下安装座和所述上安装座均呈长方体结构设置。

所述连接机构包括固接在所述下支柱顶端和所述上支柱底部对应的固定板，上下所述固定板上对应设有安装孔，所述安装孔内设有螺栓，上下所述固定板之间通过所述螺栓配合螺母可拆卸安装。

所述下支柱和所述上支柱均采用特氟龙支柱。

所述下固定座和所述上固定座均采用特氟龙固定座。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单合理，使用便捷，通过提供一种干冰喷砂辅助工装，便于固定部件，保证了部件在干冰喷砂过程中不会发生位移，使得部件中的每个小孔可以彻底清洁干净，通过设置安有上外缘放置槽的上固定座，以及安有下外缘放置槽的下固定座，可以保护部件外缘密封面不被干冰砂砾损坏，清洗过程中减少了碰伤部件的情况，此外，通过在上支柱和下支柱上分别设置上滑轮孔和下滑轮孔，便于安装塑料滑轮，防止了部件之间的摩擦损伤。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图中：1-下安装座；2-下支柱；3-下固定座；4-下外缘放置槽；5-固定槽；6-固定板；7-螺栓；8-上支柱；9-上滑轮孔；10-上安装座；11-上固定座；12-上外缘放置槽；13-下滑轮孔；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：