[实用新型]一种水环式真空发生装置

说明书

本实用新型提供了一种水环式真空发生装置，包括具有方形箱体的小推车，方形箱体内由隔板分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱，下腔室内固定有真空泵，真空泵具有进水端、进气端和液气出口端，进水端连接有进水管，进气端连接有进气管，水箱具有出水端、排污端、出气端和液气进口端，出水端连接有出水管，出气端连接有出气管，真空泵的液气出口端与水箱的液气进口端之间通过一连接管连通，进水管上连接有三通电磁阀，排污端与三通电磁阀之间通过排污管连通。真空泵在启动后气体和冷却水一起流动，冷却水在水桶、真空泵、水箱之间循环流动，将真空泵内的工作热量转移到冷却水中，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

技术领域

本实用新型属于真空发生装置技术领域，涉及一种水环式真空发生装置。

背景技术

在半导体厂，厂务制程真空系统应用于提供制程设备的真空吸盘或吸笔来搬运传送晶片，是厂务系统中相当重要之支援系统。凡能将特定空间内的气体去除以减低气体分子数目，造成某种程度的真空状态的设备称之为真空发生装置。由于厂务制程真空度的要求为50-200Torr Abs之间，故真空发生装置大都为正位移排式，例如水环式真空发生装置。

其中市面上的水冷真空发生装置存在着诸如循环水杂质，泵体冷却不足，提供真空状态不稳定的问题，易造成吸盘或吸笔在搬运传送晶片中损坏晶片的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种水环式真空发生装置，具有冷却水循环管路，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种水环式真空发生装置，包括具有方形箱体的小推车，其特征在于，方形箱体内由隔板分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱，下腔室内固定有真空泵，真空泵具有进水端、进气端和液气出口端，进水端连接有进水管，进气端连接有进气管，水箱具有出水端、排污端、出气端和液气进口端，出水端连接有出水管，出气端连接有出气管，真空泵的液气出口端与水箱的液气进口端之间通过一连接管连通，进水管上连接有三通电磁阀，排污端与三通电磁阀之间通过排污管连通。

进一步的，所述的进气管、出气管、进水管、出水管均伸出方形箱体。

进一步的，出气管上连接有消音器。

进一步的，所述进气管上连接有调压阀和压力计。

进一步的，本水环式真空发生装置还包括一个设置在小推车一侧的水桶，所述出水管和进水管均连接在一个水桶上，出水管上连接有过滤组件，过滤组件包括过滤套管和过滤网，过滤网固定在过滤套管内。

进一步的，所述进水管上连接有手动阀。

与现有技术相比，本水环式真空发生装置具有以下优点：

真空泵在启动后气体和冷却水一起流动，冷却水在水桶、真空泵、水箱之间循环流动，将真空泵内的工作热量转移到冷却水中，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

附图说明

图1为水环式真空发生装置的主视图；

图2为水环式真空发生装置的左视图；

图3为水环式真空发生装置的右视图。

图中，1、方形箱体；2、小推车；3、隔板；4、真空泵；41、进水端；42、进气端；43、液气出口端；44、进水管；45、进气管；5、水箱；51、出水端；52、排污端；53、出气端；54、液气进口端；55、出水管；56、出气管；57、排污管；6、连接管；7、三通电磁阀；8、消音器；9、调压阀；10、压力计；11、手动阀； 12、水桶；13、过滤组件。

具体实施方式