[实用新型]一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置

权利要求书

1.一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，包括测量机构（1）、信号处理机构（2），所述测量机构（1）、信号处理机构（2）依次连接，所述测量机构（1）安装在激光器（3）的一侧；所述测量机构（1）包括分光镜（11）、检偏器一（12）、光电探测器一（13）、偏振分光镜一（14）、平面反射镜一（15）、检偏器二（16）、光电探测器二（17）、法拉第旋光器（18）、角度探测单元（19）、平面反射镜二（20）、角锥棱镜（21）；所述激光器（3）、分光镜（11）、偏振分光镜一（14）、法拉第旋光器（18）、角度探测单元（19）、角锥棱镜（21）从左至右依次设置，所述分光镜（11）一侧依次安装有检偏器一（12）、光电探测器一（13），所述偏振分光镜一（14）同一侧依次安装有检偏器二（16）、光电探测器二（17）并且反方向侧安装有平面反射镜一（15）；所述角度探测单元（19）反方向侧安装有平面反射镜二（20）。

2.根据权利要求1所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述角度探测单元（19）包括偏振分光镜二（191）、凸透镜（192）、位置敏感检测器（193），所述法拉第旋光器（18）、偏振分光镜二（191）、角锥棱镜（21）从左至右依次设置，所述偏振分光镜二（191）反方向侧依次安装有凸透镜（192）、位置敏感检测器（193）。

3.根据权利要求2所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述偏振分光镜一（14）、偏振分光镜二（191）朝向角锥棱镜（21）一侧通过环形镜套衔接固定有λ/4波片（22）。

4.根据权利要求2所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述偏振分光镜二（191）上镀有半圆形平面反射膜。

5.根据权利要求1所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述角锥棱镜（21）表面镀有半圆形的半透半反膜。

6.根据权利要求1所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述分光镜（11）、检偏器一（12）、光电探测器一（13）、偏振分光镜一（14）、平面反射镜一（15）、检偏器二（16）、光电探测器二（17）、法拉第旋光器（18）、角度探测单元（19）、平面反射镜二（20）、角锥棱镜（21）分别通过支架固定在固定板（23）上，所述固定板（23）通过底板安装在光学平台（4）上。

7.根据权利要求3所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述偏振分光镜二（191）、凸透镜（192）、位置敏感检测器（193）采用呈45°角度的支架进行固定。

8.根据权利要求2所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，其特征在于，所述信号处理机构（2）包括信号处理板（24）、上位机（25）、位置传感器控制器（26），所述光电探测器一（13）、光电探测器二（17）通过差分传输至信号处理板（24），所述信号处理板（24）通过串口传输给上位机（25）；所述位置敏感检测器（193）传输至位置传感器控制器（26），所述位置传感器控制器（26）通过USB通讯传输给上位机（25）。