[实用新型]一种带密封结构的气体流量控制器有效

专利信息
申请号: 202020025476.1 申请日: 2020-01-07
公开(公告)号: CN211123781U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 蒋爱国;陈浩;曹晓江 申请(专利权)人: 上海矽振半导体科技有限公司
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200000 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 密封 结构 气体 流量 控制器
【权利要求书】:

1.一种带密封结构的气体流量控制器,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)端部的内壁固定连接有一号密封垫(2),所述一号密封垫(2)的内部活动套接有输气管,且一号密封垫(2)的一侧活动连接有二号密封垫(3),所述外壳(1)的端部螺纹套接有调节套(4),所述调节套(4)的内部螺纹套接有螺纹管(5),所述螺纹管(5)固定套接在输气管的外部,所述外壳(1)的内部固定连接有隔板(6),所述隔板(6)侧面的中部开设有通孔(7),所述外壳(1)的内部活动套接有螺杆(8),所述螺杆(8)的顶端固定连接有正反电机(9),所述正反电机(9)固定安装在保护罩(10)的内部,所述螺杆(8)的外部从上到下分别螺纹套接有一号移动板(11)和二号移动板(12),所述一号移动板(11)和二号移动板(12)的内部均贯穿有定位杆(13),所述一号移动板(11)和二号移动板(12)的一侧分别固定连接有一号挡板(14)和二号挡板(15),所述一号挡板(14)和二号挡板(15)的一侧与隔板(6)的侧面相接触。

2.根据权利要求1所述的带密封结构的气体流量控制器,其特征在于:所述二号密封垫(3)的材质为橡胶块材料,且二号密封垫(3)与一号密封垫(2)的材质相同,所述二号密封垫(3)固定套接在输气管的外部。

3.根据权利要求1所述的带密封结构的气体流量控制器,其特征在于:所述调节套(4)的一端与二号密封垫(3)的一侧相接触,且调节套(4)外部的外螺纹和内部的内螺纹分别与外壳(1)内部的内螺纹和螺纹管(5)外部的外螺纹相适配。

4.根据权利要求1所述的带密封结构的气体流量控制器,其特征在于:所述螺杆(8)的外部开设有两处外螺纹,两处外螺纹的方向相反,且两处外螺纹分别与一号移动板(11)和二号移动板(12)内部的内螺纹相适配。

5.根据权利要求1所述的带密封结构的气体流量控制器,其特征在于:所述定位杆(13)固定连接在外壳(1)的内部,且定位杆(13)与螺杆(8)之间相互平行。

6.根据权利要求1所述的带密封结构的气体流量控制器,其特征在于:所述一号挡板(14)与二号挡板(15)的大小相等并形状相同,且一号挡板(14)和二号挡板(15)与隔板(6)的接触面均固定连接有橡胶垫。

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