[实用新型]光纤式光电探测器、探测系统、及测试系统

权利要求书

1.一种光纤式光电探测器，其特征在于，包括：

光纤；

探针，设置在光纤的第一端；

所述探针在其第一端端面和第二端端面之间形成了法布里-珀罗干涉腔；所述探针为一维半导体材料制成；

所述探针与光纤平行，所述探针第一端的端面与光纤第一端端面相对应使探针法布里-珀罗干涉腔与光纤进行耦合。

2.根据权利要求1所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述探测器还包括管状结构，所述管状结构的第一端与光纤固定；

所述探针的第一端位于管状结构内，所述探针的第二端从管状结构露出。

3.根据权利要求2所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述管状结构为玻璃管；所述玻璃管位于光纤的第一端，所述玻璃管第一端的端面与光纤第一端的端面熔合。

4.根据权利要求1所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述光纤包括位于内部的纤芯；所述探针第一端与光纤第一端端面处的纤芯相对应。

5.根据权利要求1所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述探针第一端的端面紧邻光纤第一端端面。

6.根据权利要求1所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述光纤为单模光纤。

7.根据权利要求1所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述探针材料为ZnO、AlN、GaN中的任意一种。

8.根据权利要求3所述的光纤式光电探测器，其特征在于，所述玻璃管的内径与探针的直径相匹配。

9.一种光纤式光电探测系统，其特征在于，包括：

如权利要求1~8任一项所述的光纤式光电探测器，以及信号光源、环形器；

所述信号光源与环形器第一端连接；所述环形器第二端与光纤的第二端连接，用于向光电探测器输入信号光；

所述信号光源的发出的信号光通过环形器后进入纤芯，继而射入探针中；光射入后在探针的第一端和第二端两个端面间反射，射入光和反射光发生干涉形成干涉峰，并耦合传回纤芯；反射光经由纤芯、环形器第三端输出。

10.根据权利要求9所述的探测系统，其特征在于，所述信号光源为可调谐激光器，其通过单波长光进行光信号的传输。

11.根据权利要求9所述的探测系统，其特征在于，所述探测系统还包括光电探测器；所述光电探测器与环形器第三端连接，用于将探测器输出的光信号转换为电信号；所述探测系统还包括示波器，所述示波器与光电探测器连接。

12.根据权利要求9所述的探测系统，其特征在于，所述探测系统还包括光谱仪，所述光谱仪与环形器第三端连接。

13.一种光纤式光电探测器的测试系统，其特征在于，包括：

如权利要求1~8任一项所述的光纤式光电探测器，以及信号光源、环形器、测试光源、光电探测器；

所述信号光源与环形器第一端连接；所述环形器第二端与光纤的第二端连接，用于向光电探测器输入信号光；

所述测试光源用于输出测试光，所述测试光照射于所述探针的表面；

所述光电探测器与环形器第三端连接，用于将探测器输出的光信号转换为电信号。

14.根据权利要求13所述的测试系统，其特征在于，所述测试系统还包括示波器，所述示波器与光电探测器连接。

15.根据权利要求13所述的测试系统，其特征在于，所述测试系统还包括光斩波器、光路系统；所述测试光源发出的测试光，通过光斩波器、光路系统后照射到探针表面。

16.根据权利要求13所述的测试系统，其特征在于，所述测试光源用于输出紫外光。