[发明专利]一种制备高性能铁磁性靶材的方法

权利要求书

1.一种制备高性能铁磁性靶材的方法，其特征在于，包括将铁磁性靶坯通过旋压使靶坯均匀变形的步骤；旋压前，铁磁性靶坯通过将高纯铁磁性金属铸锭进行锻造、轧制、再结晶热处理得到板坯，对所得板坯机加工为圆形靶坯制得；

所述铁磁性靶坯的初始厚度3-5mm；

所述旋压为以圆形铁磁性靶坯圆心为中心点进行旋压；

所述旋压用模具底部设置永磁铁；

所述旋压总的压下变形量为5％-30％，压下道次变形量5％-15％；

旋压主轴转速300-2000转/分钟，旋轮进给速度50-300米/分钟；

旋压后靶坯形状为平面型、球面型或异型；相比所述板坯，所得铁磁性靶材透磁率增加20％以上，圆周方向透磁率波动≤1％；

所述铁磁性靶坯材质为高纯Co、Ni、Co-Fe、Ni-Fe或Pt≤30wt％的Ni-Pt合金。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，旋压后，对所得靶坯进行焊接、机加工，得到铁磁性靶材。