[发明专利]一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺

权利要求书

1.一种集成电路制造用加工设备，包括工作板(1)，其特征在于：所述工作板(1)的顶部固定连接有加工箱(2)，所述加工箱(2)的内部设置有两块输送板(3)，所述输送板(3)的两端均延伸至加工箱(2)的外侧，所述输送板(3)位于加工箱(2)外侧的底部均与工作板(1)的顶部固定连接，两块所述输送板(3)之间转动连接有第一输送辊(4)，两块所述输送板(3)之间且位于第一输送辊(4)的一端转动连接有第二输送辊(5)，所述第一输送辊(4)与第二输送辊(5)之间通过输送带(6)传动连接，所述输送带(6)的工作面均固定连接有固定台(7)，所述固定台(7)两侧的内部均开设有转动槽(8)，所述转动槽(8)内腔的一侧均转动连接有转动杆(15)，所述转动杆(15)相对应的一端均固定连接有转动筒(9)，其中一根所述转动杆(15)的外侧固定套接有第一蜗轮(16)，其中一个所述转动槽(8)内腔的一侧且位于第一蜗轮(16)的上方转动连接有第一蜗杆(17)，所述第一蜗杆(17)与第一蜗轮(16)传动连接，所述固定台(7)的一侧且位于第一蜗杆(17)的一侧固定连接有连接台(18)，所述连接台(18)内部转动连接有转动盘(19)，所述第一蜗杆(17)的一端与转动盘(19)的一侧固定连接，所述转动盘(19)远离第一蜗杆(17)的一侧固定连接有连接杆(20)，所述加工箱(2)内腔的一侧且位于连接杆(20)的一侧固定连接有齿条(30)，所述齿条(30)顶部开设有两组齿槽(28)，所述连接杆(20)的一端延伸至连接台(18)的一侧并固定套接有传动齿轮(27)，所述传动齿轮(27)通过齿牙与其中一组齿槽(28)啮合连接，所述加工箱(2)内腔的顶部且位于齿槽(28)的上方均固定连接有两块固定板(31)，其中一块所述固定板(31)的一侧固定连接有传动箱(33)，另一块所述固定板(31)的一侧转动连接有清理辊(32)，所述清理辊(32)的一端延伸至传动箱(33)内部并与传动箱(33)内腔的一侧转动连接，所述清理辊(32)位于传动箱(33)内腔的外侧固定套接有第二蜗轮(34)，所述传动箱(33)内腔的底部且位于第二蜗轮(34)的一侧转动连接有第二蜗杆(35)，所述加工箱(2)的顶部固定连接有联动箱(36)，所述联动箱(36)内腔的一侧转动连接有联动杆(39)，所述联动箱(36)的一侧固定连接有通气管(37)，所述联动箱(36)的一端延伸至通气管(37)内部并固定套接有叶片(40)，所述第二蜗杆(35)的顶部延伸至传动箱(33)的上方并固定连接有连动杆(45)，所述连动杆(45)的顶部延伸至联动箱(36)内部并固定套接有第二锥齿轮(43)，所述联动杆(39)的外侧且位于第二锥齿轮(43)的一侧固定套接有第一锥齿轮(42)，所述第一锥齿轮(42)与第二锥齿轮(43)啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用加工设备，其特征在于：所述设备一块所述固定板(31)的一侧固定连接有传动箱(33)，另一块所述固定板(31)的一侧转动连接有清理辊(32)，所述清理辊(32)的一端延伸至传动箱(33)内部并与传动箱(33)内腔的一侧转动连接，所述清理辊(32)位于传动箱(33)内腔的外侧固定套接有第二蜗轮(34)，所述传动箱(33)内腔的底部且位于第二蜗轮(34)的一侧转动连接有第二蜗杆(35)，所述加工箱(2)的顶部固定连接有联动箱(36)，所述联动箱(36)内腔的一侧转动连接有联动杆(39)，所述联动箱(36)的一侧固定连接有通气管(37)，所述联动箱(36)的一端延伸至通气管(37)内部并固定套接有叶片(40)，所述第二蜗杆(35)的顶部延伸至传动箱(33)的上方并固定连接有连动杆(45)，所述连动杆(45)的顶部延伸至联动箱(36)内部并固定套接有第二锥齿轮(43)，所述联动杆(39)的外侧且位于第二锥齿轮(43)的一侧固定套接有第一锥齿轮(42)，所述第一锥齿轮(42)与第二锥齿轮(43)啮合连接。