[发明专利]一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置

权利要求书

1.一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，包括横向移动机构、升降机构、夹持机构及机架，所述横向移动机构与所述升降机构均安装于所述机架上；

所述横向移动机构包括旋转气缸、驱动齿轮、从动齿轮，所述旋转气缸安装于所述机架上，所述旋转气缸的输出端连接所述驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮通过传送带连接，晶圆清洗设备的各个工艺区通过一齿条连接，所述从动齿轮与所述齿条啮合连接；

所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸安装于所述机架上，所述升降机构的输出端连接所述夹持机构；

所述夹持机构包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构，所述驱动机构安装于所述安装底座上，所述安装底座安装于所述升降气缸的输出端，所述驱动气缸安装于气缸安装座上，所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端，所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端；

所述驱动机构包括第一驱动臂、第二驱动臂、第一移动臂、第二移动臂、第一驱动块、第二驱动块、第一旋转块、第二旋转块、第一限位块、第二限位块及限位弹簧，所述第一驱动臂、所述第二驱动臂的一端分别连接所述驱动气缸的输出端，所述第一驱动臂、所述第二驱动臂的另一端为椭圆锥形，所述第一移动臂的一端连接所述第一夹持臂的另一端，所述第二移动臂的一端连接所述第二夹持臂的另一端，所述第一旋转块安装于所述第一移动臂的另一端，所述第二旋转块安装于所述第二移动臂的另一端，所述第一驱动块安装于所述第一旋转块上，所述第二驱动块安装于所述第二旋转块上，所述第一驱动臂的另一端位于所述第一驱动块的下方且与所述第一驱动块相接触，所述第二驱动臂的另一端位于所述第二驱动块的下方且与所述第二驱动块接触，所述第一限位块安装于所述第一旋转块上，所述第二限位块安装于所述第二旋转块上，所述限位弹簧连接所述第一限位块与所述第二限位块，所述限位弹簧位于所述第一驱动臂、所述第二驱动臂的下方。

2.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一旋转块上安装有第一接近开关，所述第二旋转块上安装有第二接近开关，所述第一接近开关的下方设置有第一感应器，所述第二接近开关的下方设置有第二感应器。

3.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一旋转块与所述第一移动臂同轴设置，所述第二旋转块与所述第二移动臂同轴设置。

4.如权利要求3所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一旋转块轴安装于所述第一移动臂的端部，所述第二旋转块轴安装于所述第二移动臂的端部。

5.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一夹持手套设安装于所述第一夹持臂的一端，所述第二夹持手套设安装于所述第二夹持臂的一端。

6.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一旋转块、所述第二旋转块的运动角度为1-3度，所述第一夹持臂、所述第二夹持臂的相对运动距离为16-25毫米。

7.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，还包括固定座，所述固定座与所述气缸安装座为一体式结构，所述固定座上开设有限位槽，所述第一夹持臂与所述第一移动臂通过第一连接套件连接，所述第二夹持臂与所述第二移动臂通过第二连接套件连接，所述第一连接套件、所述第二连接套件设置于所述限位槽内并能在限位槽内左右移动。

8.如权利要求1所述的一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，其特征在于，所述第一旋转块、所述第二旋转块的横向截面为八边形。