[发明专利]一种单晶圆载体清洗干燥装置

权利要求书

1.一种单晶圆载体清洗干燥装置，其特征在于，包括清洗液回收机构、晶圆清洗机构、晶圆干燥模组、第一清洗模组、第二清洗模组和第三清洗模组，其中，所述晶圆清洗机构可升降地设于所述清洗液回收机构内，所述第一清洗模组可旋转地设于所述清洗液回收机构的一侧，所述第二清洗模组可旋转地设于所述清洗液回收机构的另一侧，所述第三清洗模组可旋转地设于所述清洗液回收机构的一端，其中，所述第一清洗模组与所述第二清洗模组之间设有所述晶圆干燥模组；

安装板，所述清洗液回收机构设于所述安装板的中部，所述晶圆干燥模组、所述第一清洗模组、所述第二清洗模组和所述第三清洗模组分别设于所述安装板的上端；

其中，所述清洗液回收机构包括外壳体以及设于所述外壳体内的若干清洗液回收腔，若干所述清洗液回收腔沿所述外壳体的轴向方向设置，且若干所述清洗液回收腔同轴设置，所述晶圆清洗机构可升降地与一所述清洗液回收腔相对应；

所述晶圆清洗机构包括第一管件外壳和喷液管件，其中，所述第一管件外壳设置于一晶圆的下方，所述第一管件外壳的中部开设有倾斜设置的第一喷气口，所述第一管件外壳的上端设有所述喷液管件；

所述第一清洗模组包括：出水管和喷头机构；

所述第二清洗模组包括安装管、安装块、氮气喷头、第一喷头和第二喷头，其中，所述安装管的一端与所述安装板的上端连接，所述安装管的另一端连接所述安装块的一端，所述安装块的另一端设有所述氮气喷头、所述第一喷头和所述第二喷头，所述氮气喷头、所述第一喷头和所述第二喷头并排设置，且所述第一喷头位于所述氮气喷头与所述第二喷头之间，所述氮气喷头由上至下向靠近所述第一喷头的方向倾斜设置，所述氮气喷头用于吹送氮气，所述第一喷头用于喷射大液滴氨水与双氧水混合液，所述第二喷头用于喷射纳米级氨水与双氧水混合液；

所述第三清洗模组包括并排设置的第一清洗管机构、第二清洗管机构和第三清洗管机构，所述第一清洗管机构用于吹送氮气，所述第二清洗管机构和所述第三清洗管机构均用于喷射清洗液。

2.如权利要求1所述的单晶圆载体清洗干燥装置，其特征在于，所述晶圆干燥模组包括若干氮气吹送管，每一所述氮气吹送管的一端均为出气端，且所述出气端由上至下向靠近所述晶圆清洗机构的方向倾斜设置。

3.如权利要求1所述的单晶圆载体清洗干燥装置，其特征在于，还包括氮气输送管、第一输液管和第二输液管，其中，所述氮气输送管、所述第一输液管和所述第二输液管分别安装于所述安装管内，且所述氮气输送管与所述氮气喷头连接，所述第一输液管连接所述第一喷头，所述第二输液管连接所述第二喷头。

4.如权利要求1所述的单晶圆载体清洗干燥装置，其特征在于，所述晶圆清洗机构包括晶圆承载平台、晶圆支撑管件、转动轴组、第一升降机构和晶圆定位器，其中，所述晶圆承载平台的上表面的外缘设有若干所述晶圆定位器，所述转动轴组和所述第一升降机构分别设于所述晶圆承载平台的下端，且所述第一升降机构驱动所述转动轴组，所述晶圆支撑管件沿所述转动轴组的轴向方向贯穿所述转动轴组，且所述晶圆支撑管件的一端贯穿所述晶圆承载平并延伸至所述晶圆承载平台的上侧。

5.如权利要求4所述的单晶圆载体清洗干燥装置，其特征在于，所述晶圆清洗机构还包括第二管件外壳，所述晶圆支撑管件的一端的外缘还套设有所述第二管件外壳，且所述第二管件外壳设于所述第一管件外壳的下端，所述第一管件外壳的下端面与所述第二管件外壳的上端面之间形成一第二喷气口，所述第二管件外壳的下端嵌设于所述晶圆承载平台内。