[发明专利]一种碳化硅切割液分离方法有效
申请号: | 202011628535.5 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112755639B | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 汪良;张洁;王旻峰 | 申请(专利权)人: | 湖南三安半导体有限责任公司 |
主分类号: | B01D36/00 | 分类号: | B01D36/00;C01B32/956;C01B32/28 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 冯洁 |
地址: | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 切割 分离 方法 | ||
1.一种碳化硅切割液分离方法,用于将碳化硅切割液中的碳化硅、金刚石和切割油相分离,其特征在于,所述碳化硅切割液分离方法包括:
混合所述碳化硅切割液和第一溶液,得到第一混合溶液;其中,所述第一溶液的密度大于所述切割油的密度且小于所述碳化硅的密度;
静置所述第一混合溶液达到第一预设时间,以使所述第一混合溶液分层形成切割油分层和混合分层,所述切割油分层位于所述混合分层上方;
分离所述切割油分层和所述混合分层,以分离所述切割油;
混合所述混合分层和第二溶液,得到第二混合溶液;其中,所述第二溶液的密度大于所述碳化硅的密度且小于所述金刚石的密度;
静置所述第二混合溶液达到第二预设时间,以使所述第二混合溶液分层形成碳化硅分层和金刚石分层,所述碳化硅分层位于所述金刚石分层上方;
分离所述碳化硅分层和所述金刚石分层,以分离所述碳化硅和所述金刚石。
2.根据权利要求1所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,所述第一溶液为水,所述第二溶液为甲基碘溶液。
3.根据权利要求2所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,在静置所述第一混合溶液达到第一预设时间的步骤之前,碳化硅切割液分离方法还包括:
搅拌或者摇晃所述第一混合溶液,以使所述切割油、所述第一溶液、所述金刚石和所述碳化硅均匀分布;
和/或,在静置所述第二混合溶液达到第二预设时间的步骤之前,碳化硅切割液分离方法还包括:
搅拌或摇晃所述第二混合溶液,以使所述第二溶液、所述金刚石和所述碳化硅均匀分布。
4.根据权利要求2所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,在混合所述混合分层和第二溶液,得到第二混合溶液的步骤之前,碳化硅切割液分离方法还包括:
在具有流动气流的环境下加热所述混合分层,以去除所述混合分层中的所述第一溶液。
5.根据权利要求4所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,加热所述混合分层的温度为100℃-120℃;
且保持加热状态持续1h-15h。
6.根据权利要求2所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,在分离所述切割油分层和所述混合分层,以分离所述切割油步骤之后,碳化硅切割液分离方法还包括:
加热所述切割油分层,以去除所述切割油分层中的所述第一溶液,得到所述切割油。
7.根据权利要求6所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,加热所述切割油分层的温度为100℃-120℃;
且保持加热状态持续1h-15h。
8.根据权利要求2所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,在分离所述碳化硅分层和所述金刚石分层,以分离所述碳化硅和所述金刚石的步骤之后,碳化硅切割液分离方法还包括:
加热所述碳化硅分层,以去除所述碳化硅分层中的所述第二溶液,得到所述碳化硅;
加热所述金刚石分层,以分离所述金刚石分层中的所述第二溶液,得到所述金刚石。
9.根据权利要求8所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,加热所述碳化硅分层的温度为50℃-150℃;
和/或,加热所述金刚石分层的温度为50℃-150℃。
10.根据权利要求2所述的碳化硅切割液分离方法,其特征在于,所述分离所述碳化硅分层和所述金刚石分层,以分离所述碳化硅和所述金刚石的步骤中,碳化硅切割液分离方法包括:
采用80-300目的过滤袋将所述碳化硅分层从所述第二混合溶液分离。
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