[发明专利]一种固定扳手和一种工件的固定方法有效

专利信息
申请号: 202011625828.8 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112828809B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 孙海峰 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: B25B13/48 分类号: B25B13/48
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201306 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 固定 扳手 工件 方法
【权利要求书】:

1.一种固定扳手,用于在一晶棒滚磨机的主轴上拆装磨轮时固定所述主轴,其特征在于,所述固定扳手包括卡固连接部和位于所述卡固连接部两端的手持固定部,所述手持固定部用于辅助固定所述卡固连接部,所述卡固连接部上设置有卡槽,所述卡槽具有沿所述固定扳手的厚度方向贯穿所述卡固连接部的第一通孔,所述第一通孔可与所述主轴上的固定孔对准;所述卡槽还包括与所述第一通孔相连通的第二通孔,所述第二通孔设置在所述第一通孔的外围;所述第一通孔的孔径尺寸大于所述第二通孔的孔径尺寸;所述主轴上设有多个所述固定孔,所述卡固连接部设置的卡槽数量与所述固定孔的数量相同,且相邻所述卡槽之间的间距与相邻所述固定孔之间的间距相同;在一拆卸螺栓的螺柱穿过所述第一通孔并伸入到所述固定孔中时,所述卡槽能沿着所述拆卸螺栓运动至将所述主轴锁定的位置,或者,所述拆卸螺栓能沿着所述卡槽运动至将所述主轴锁定的位置。

2.如权利要求1所述的固定扳手,其特征在于,所述拆卸螺栓还具有位于所述螺柱未插入到所述固定孔的一端的螺栓头,所述螺栓头的宽度大于所述螺柱的直径,所述螺栓头与所述卡槽配合以将所述主轴锁定。

3.如权利要求2所述的固定扳手,其特征在于,所述手持固定部能带动所述卡固连接部运动至所述螺栓头嵌入到所述第一通孔中并与所述第一通孔紧密相接或者过盈配合,以将所述主轴锁定;

或者,所述手持固定部能先带动所述卡固连接部运动至所述螺栓头嵌入到所述第一通孔中,再继续带动所述卡固连接部运动,以使得所述螺栓头从所述第一通孔滑入到所述第二通孔中,直至与所述第二通孔紧密相接或者过盈配合,以将所述主轴锁定;

或者,所述手持固定部能带动所述卡固连接部运动,使所述螺柱从所述第一通孔滑入到所述第二通孔中,直至与所述第二通孔紧密相接或者过盈配合,所述螺栓头被止挡在所述卡固连接部背向所述主轴的一面上,以将所述主轴锁定。

4.如权利要求3所述的固定扳手,其特征在于,所述第二通孔的孔壁上凹设有第一内槽,所述第一内槽环绕所述第二通孔,所述第一内槽还与所述第一通孔连通,所述第一内槽在所述固定扳手的厚度方向上的开口宽度大于等于所述螺栓头的厚度,且所述手持固定部能带动所述卡固连接部运动,使所述螺栓头从所述第一通孔滑入到所述第一内槽中,并使所述螺柱沿着所述第二通孔运动,直至所述螺栓头与所述第一内槽紧密相接和/或所述螺柱与所述第二通孔紧密相接,以将所述主轴锁定。

5.如权利要求1所述的固定扳手,其特征在于,所述卡槽包括第三通孔,所述第三通孔与所述第一通孔连通,且所述第三通孔和所述第二通孔分布在所述第一通孔的外周的不同位置上,所述第三通孔与所述第二通孔的孔径尺寸不同。

6.一种工件的固定方法,其特征在于,包括:

在晶棒滚磨机主轴上的固定孔中装入拆卸螺栓;以及

利用如权利要求1至5任意一项所述的固定扳手嵌套所述拆卸螺栓,以限制所述拆卸螺栓的运动并将所述主轴锁定。

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