[发明专利]一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计

权利要求书

1.一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，所述电阻测量计包括上层的源电极、漏电极和沟道，中间的PVA固态电解质薄膜以及下层的涂有ITO涂层的透明玻璃，将作为栅极的ITO涂层与源电极之间通电，通过双电层效应，在沟道表面诱导出电子，不同的栅电压可以诱导出不同数量的电子，从而改变沟道的导电率，即改变沟道的电阻。

2.如权利要求1所述的一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，不同的栅电压指-0.2～1.8V。

3.如权利要求1所述的一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，在电路中被测电阻串联前后，通过调节栅电压，维持电路中的电流保持不变，则沟道前后阻值差的绝对值即为被测电阻的阻值。

4.如权利要求3所述的一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，被测电阻串联在电路中形成闭合回路时，电源电压E恒定，被测电阻的阻值为R₀，电压表的示数为源漏电压U_ds，此时电路的源漏电流I₀可由晶体管的输出特性曲线确定，即栅压与源漏电压可唯一确定源漏电流，由式可确定沟道的电阻R₁；由式即可确定被测电阻R₀的值。

5.如权利要求1所述的一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，所述PVA固态电解质薄膜的制备方法如下：

(1)将PVA颗粒放置于去离子水中充分溶胀；

(2)将溶胀后的PVA溶液置于恒温磁力搅拌机上，期间持续加热至100℃，并保持温度搅拌2h，获得均匀的透明PVA溶液；

(3)将透明PVA溶液在室温下进行冷却静置；

(4)12小时后，利用胶头滴管取PVA透明溶液滴涂在ITO透明玻璃片有ITO涂层的表面上；

(5)将涂布好的基片放入恒温通风烘箱中进行干燥，以获得均匀的PVA基生物聚合物电解质膜。

6.如权利要求1所述的一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计，其特征在于，在氩气环境中，利用定制镍合金金属掩膜板，将ITO源电极、漏电极和沟道溅射到PVA固态电解质薄膜上，磁控溅射过程中，由于边缘绕射效应，可在源电极与漏电极之间获得一个自组装薄膜ITO沟道，从而构成氧化薄膜晶体管。