[发明专利]微装配用微力传感器及压电陶瓷驱动微夹持器

权利要求书

1.微装配用微力传感器，其特征在于，包括：

固定端；及

三根平行排布的第一、二、三悬臂梁，其依次设于所述固定端一侧；

其中，三根悬臂梁的长度相等、厚度一致、宽度逐渐增加；每根悬臂梁作为力的测量段使用、其上安装有由力敏电阻组成的测量电路，所述力敏电阻感测悬臂梁自由端的弯曲形变并通过所述测量电路将微力信号转换为电信号。

2.根据权利要求1所述的微装配用微力传感器，其特征在于，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁的自由端均设有凸台，且所述第一悬臂梁自由端的凸台比所述第二悬臂梁自由端的凸台高。

3.根据权利要求1或2所述的微装配用微力传感器，其特征在于，所述测量电路为惠斯通电桥测量电路，包括第一悬臂梁上的第一惠斯通电桥、第二悬臂梁上的第二惠斯通电桥及第三悬臂梁上的第三惠斯通电桥。

4.根据权利要求3所述的微装配用微力传感器，其特征在于，所述第一惠斯通电桥包括四个力敏电阻R₁、R₂、R₃、R₄，其中R₂和R₃设于所述第一悬臂梁处于受力状态时应变最大的区域、其电阻值随所述第一悬臂梁的形变发生变化，R₁和R₄设于所述固定端端面上、其电阻值不随所述第一悬臂梁的形变发生变化；所述R₂、R₁、R₃、R₄依次首尾电连接，R₁和R₂相连端与第一惠斯通电桥的第一输出电极相连，R₁和R₃相连端与第一惠斯通电桥的第一输入电极相连，R₂和R₄相连端与第一惠斯通电桥的第二输入电极相连，R₃和R₄相连端与第一惠斯通电桥的第二输出电极相连；所述第一惠斯通电桥第一输入电极和第一惠斯通电桥第二输入电极分别连接输入电压两端，所述第一惠斯通电桥第一输出电极和第一惠斯通电桥第二输出电极输出测量电压。

5.根据权利要求3所述的微装配用微力传感器，其特征在于，所述第二惠斯通电桥包括四个力敏电阻R₅、R₆、R₇、R₈，其中R₆和R₇设于所述第二悬臂梁处于受力状态时应变最大的区域、其电阻值随所述第二悬臂梁的形变发生变化，R₅和R₈设于所述固定端端面上、其电阻值不随所述第二悬臂梁的形变发生变化；所述R₆、R₅、R₇、R₈依次首尾电连接，R₅和R₆相连端与第二惠斯通电桥的第一输出电极相连，R₅和R₇相连端与第二惠斯通电桥的第一输入电极相连，R₆和R₈相连端与第二惠斯通电桥的第二输入电极相连，R₇和R₈相连端与第二惠斯通电桥的第二输出电极相连；所述第二惠斯通电桥第一输入电极和第二惠斯通电桥第二输入电极分别连接输入电压两端，所述第二惠斯通电桥第一输出电极和第二惠斯通电桥第二输出电极输出测量电压。