[发明专利]一种微机械加速度计

权利要求书

1.一种微机械加速度计，其特征在于，包括敏感框架、基板、锚点、组合折叠梁和圆弧形梳齿；所述锚点包括第一锚点和第二锚点，所述敏感框架通过所述组合折叠梁与所述第一锚点相连；所述基板设置在敏感框架的内侧与敏感框架在同一平面内，且由所述第二锚点固定；所述圆弧形梳齿包括圆弧形可动梳齿和圆弧形固定梳齿，所述圆弧形可动梳齿与所述敏感框架固定连接，所述圆弧形固定梳齿与所述基板固定连接；所述微机械加速度计包括多个第一锚点，多个第一锚点将所述敏感框架和所述基板划分为多个子敏感区域，每个子敏感区域为一个子加速度计系统；

所述微机械加速度计有五个所述第一锚点，分别分布在四角和中间区域，五个所述锚点将所述敏感框架划分为五个子敏感区域；

所述组合折叠梁共有二十组，每个子敏感区域共有四组，一组所述组合折叠梁由三根单梁组合而成，每根单梁一端连接所述第一锚点，另一端连接所述敏感框架。

2.根据权利要求1所述的微机械加速度计，其特征在于，还包括弹性止挡结构，所述弹性止挡结构与所述第一锚点固定连接，所述弹性止挡结构围绕所述第一锚点呈圆周阵列式分布。

3.根据权利要求2所述的微机械加速度计，其特征在于，所述弹性止挡结构包括接触头和缓冲梁，所述接触头设置在缓冲梁上且靠近所述敏感框架，所述缓冲梁为双端固支梁，两端固定在所述第一锚点上。

4.根据权利要求3所述的微机械加速度计，其特征在于，所述接触头为圆弧状。

5.根据权利要求1所述的微机械加速度计，其特征在于，所述组合折叠梁由多根单梁组合而成。

6.根据权利要求1所述的微机械加速度计，其特征在于，所述圆弧形固定梳齿采用不等距离的固定梳齿偏置结构。

7.根据权利要求1所述的微机械加速度计，其特征在于，所述微机械加速度计的机械刚度为其中，K_i为各子敏感区域的刚度，k_j为每组所述组合折叠梁的刚度。