[发明专利]用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置

权利要求书

1.用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其包括高压风机，其特征在于：所述高压风机的进风口连接有初效过滤器，所述高压风机的出风口依次连接有一级空冷器、分水器一、二级空冷器、分水器二、空气加热器和高效过滤器，所述一级空冷器的底部和顶部分别设有循环水进口和循环水出口，所述二级空冷器上的底部和顶部分别设有冷冻水进口和冷冻水出口，所述冷冻水进口和所述冷冻水出口分别与冷水机组的出口和进口连接，所述空气加热器的顶部和底部分别设有蒸汽入口和排水口，所述循环水进口、所述冷冻水进口和所述蒸汽入口分别用于通入换热介质，所述循环水出口、所述冷冻水出口和所述排水口分别用于排出换热介质。

2.根据权利要求1所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述一级空冷器和所述二级空冷器分别包括空冷器壳体、设于所述空冷器壳体前后端的进风口和出风口、设于所述空冷器壳体中间的换热管箱，所述换热管箱下端设有所述循环水进口或者所述冷冻水进口，所述换热管箱上端设有所述循环水出口或者所述冷冻水出口。

3.根据权利要求2所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述一级空冷器的进出口位置分别设有测温口，所述二级空冷器的出口位置设有测温口。

4.根据权利要求2或3所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述换热管箱包括位于上部的主出水管、位于下部的主进水管和位于所述主进水管和所述主出水管之间的翅片换热管，所述主进水管与所述循环水进口或者所述冷冻水进口连接，所述主出水管与所述循环水出口或者所述冷冻水出口连接。

5.根据权利要求1所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述空气加热器包括加热器壳体、设于所述加热器壳体前后端的进气口和出气口、设于所述加热器壳体中间的加热管箱，所述加热管箱上端设有所述蒸汽入口，所述加热管箱下端设有所述排水口。

6.根据权利要求5所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述加热器壳体后部还设有测温口。

7.根据权利要求5或6所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述加热管箱包括位于上部的主进气管、位于下部的主排水管和位于所述主进气管和所述主排水管之间的翅片加热管，所述主进气管与所述蒸汽入口连接，所述主排水管与所述排水口连接。

8.根据权利要求1所述的用于电子产品腐蚀液制备的临界式空气处理装置，其特征在于：所述分水器一、所述分水器二为收集式分水器。

9.根据权利要求1所述的一种临界式空气处理装置，其特征在于：所述冷冻水进口通入的冷冻水温度为0摄氏度；所述二级空冷器排出的空气温度大于3摄氏度。