[发明专利]基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置

权利要求书

1.一种基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述装置包括探针阵列、四自由度运动机构和固定框架，其中：

所述四自由度运动机构为四轴结构，包括两个X轴、一个Y轴和一个Z轴，两个X轴通过横杆连接，每个轴上均设有一个直线运动模块；

所述探针阵列安装在四自由度运动机构的Z轴上，并且可绕X轴旋转90度；

所述固定框架由焊接固定板、支撑柱、竖直调节机构、水平调节机构和基准板组成，固定框架的任意两个支撑柱上设置阻尼器，支撑柱的下端固定在焊接固定板上，支撑柱的上端设置有竖直调节机构，竖直调节机构的上端设置有水平调节机构，基准板安装在水平调节机构上，焊接固定板焊接在等离子体模拟装置真空室的内侧；

所述四自由度运动机构通过X轴的底板固定在基准版上，Y轴固定在X轴的滑块上，Z轴固定在Y轴的滑块上。

2.根据权利要求1所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述直线运动模块由导轨、丝杆、电机和滑块组成，滑块通过丝杆的运动在导轨上滑动，导轨上安装有限位开关，丝杆的一端安装有电机。

3.根据权利要求2所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述电机外设置高导磁率的金属罩。

4.根据权利要求1所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述探针阵列由5件探针组成一组，每件之间的间隔为60 mm，共A、B两组探针阵列，探针运动机构上装一组探针。

5.根据权利要求4所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述A组探针阵列下面两组为高分辨磁探针，上面三组为标准分辨磁探针；B组探针阵列上面两组为高分辨磁探针，下面三组为标准分辨磁探针。

6.根据权利要求5所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述高分辨磁探针的中间设置间隔2 mm测量点位4个，两边各设置间隔10 mm测量点位3个、间隔20 mm测量点位1个、间隔30 mm测量点位1个。

7.根据权利要求5所述的基于四自由度运动机构的空间等离子体参数诊断装置，其特征在于所述标准分辨磁探针中间设置间隔10 mm测量点位6个，两边各设置间隔20 mm测量点位1个、间隔30 mm测量点位1个。