[发明专利]自偏置磁电复合薄膜、制备工具、传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种自偏置磁电复合薄膜，其特征在于，包括：磁致伸缩材料层和压电材料层，所述磁致伸缩材料层和所述压电材料层一体弯曲、固化为弧形；所述磁致伸缩材料层包括正磁致伸缩材料层和负磁致伸缩材料层，所述正磁致伸缩材料层设置在所述压电材料层的外侧，所述负磁致伸缩材料层设置在所述压电材料层的内侧；

所述正磁致伸缩材料层为金属玻璃Metglas，所述压电材料层为聚偏氟乙烯PVDF，所述负磁致伸缩材料层为镍Ni；

所述弧形为正圆弧形状。

2.一种自偏置磁电复合薄膜材料的制备工具，其特征在于，用于制备权利要求1所述的自偏置磁电复合薄膜，所述制备工具包括内管和外管，所述外管包括弧形单元，所述弧形单元用于夹紧在所述内管上，使得所述弧形单元的内表面与所述内管的外表面贴合。

3.根据权利要求2所述的制备工具，其特征在于，所述弧形单元包括第一弧形单元和第二弧形单元，所述第一弧形单元和第二弧形单元用于通过弹簧夹紧在所述内管上。

4.一种自偏置磁电复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括：

将磁致伸缩材料层粘贴在压电材料层上，放入权利要求2或3所述的制备工具中夹紧；

将所述制备工具放入干燥箱中使磁致伸缩材料层和压电材料层固化，获得权利要求1所述的自偏置磁电复合薄膜。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述磁致伸缩材料层包括正磁致伸缩材料层和负磁致伸缩材料层，所述将磁致伸缩材料层粘贴在压电材料层上，包括：

分别将所述正磁致伸缩材料层和负磁致伸缩材料层粘贴在所述压电材料层的上下两侧。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述将磁致伸缩材料层粘贴在压电材料层上之前，还包括：

在所述压电材料层上下表面分别涂布一层导电层。

7.一种磁电传感器，其特征在于，包括权利要求1所述的自偏置磁电复合薄膜。