[发明专利]取晶用晶圆蓝膜张紧机构

说明书

本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，通过设置扩晶环和半分环，将晶圆蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。

技术领域

本发明涉及电子元件制造领域，尤其涉及一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构。

背景技术

在二极管封装制造过程中，需要将储存在晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到石墨盘，由于晶圆蓝膜具有一定的弹性，因此在取晶过程中蓝膜容易出现松弛改变晶圆的位置精度，影响取晶操作。

发明内容

本发明要解决的技术问题是取晶过程中蓝膜容易出现松弛改变晶圆的位置精度，影响取晶操作，本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构来解决上述问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环沿竖直方向移动，并将所述晶圆蓝膜的中部张紧在所述扩晶环上。

进一步地：所述竖直调节机构包括活动环和连接轴，所述活动环套设在所述扩晶环的外周，二个所述半分环对称安装在所述活动环上，所述活动环上设有沿竖直方向设置的螺纹孔，所述连接轴沿竖直方向设置，所述连接轴的底部转动安装在所述支撑环上，所述连接轴的顶部设置有与所述螺纹孔相配合的外螺纹，所述外螺纹安装在所述螺纹孔中，所述连接轴转动能够驱动所述活动环上下移动，所述连接轴和螺纹孔的数量均为多个，多个所述连接轴和螺纹孔均沿周向设置；所述竖直调节机构还包括第一电机、连接架和第一气缸，所述第一气缸的缸体固定安装在所述机架上，所述第一气缸的活塞杆沿水平方向设置，并与所述连接架固定连接，所述连接架上设置有导杆，所述导杆平行于所述第一气缸的活塞杆设置，所述机架上设有与所述导杆相配合的导套，所述导杆插入所述导套中，并能沿所述导套滑动，所述第一电机固定安装在所述连接架上，所述第一电机的输出轴上安装有第一斜齿轮，所述支撑环上转动安装有支撑轴，所述支撑轴沿竖直方向设置，所述支撑轴上固定安装有第二斜齿轮，所述第二斜齿轮与所述第一斜齿轮啮合设置，所述支撑轴和多个所述连接轴上均固定安装有转轮，多个转轮通过闭环传动带连接同步转动。

进一步地：所述支撑环上还固定安装有限位杆，所述限位杆沿竖直方向设置，所述机架上设置有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆沿水平方向设置，所述第二气缸的活塞杆上固定安装有限位块，所述限位块上沿竖直方向设置有限位槽，所述第二气缸的活塞杆工作能够顶推所述限位槽卡紧在所述限位杆上。

进一步地：所述支撑环的外壁上设有环形齿，所述机架上安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的转动轴心平行于所述支撑环的转动轴心，所述驱动齿轮与所述环形齿通过带连接。

本发明的有益效果是，本发明取晶用晶圆蓝膜张紧机构通过设置扩晶环和半分环，将晶圆蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明取晶用晶圆蓝膜张紧机构的结构示意图；

图2是活动环安装在支撑环上的结构示意图；

图3是连接轴安装在螺纹孔中的结构示意图；