[发明专利]一种半导体激光器耐回返光能力的光路测试系统有效
申请号: | 202011592289.2 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112816185B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 周少丰;黄良杰;林文烽;陈永平 | 申请(专利权)人: | 深圳市星汉激光科技股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;H01S5/00 |
代理公司: | 武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙) 42274 | 代理人: | 曹雄 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 回返 能力 测试 系统 | ||
本发明提供了一种半导体激光器耐回返光能力的光路测试系统,涉及半导体激光技术领域;该系统包括:待测试的半导体激光器、光功率计和光纤合束分束模块;所述光纤合束分束模块包括具有多个输入分支的一端及多个输出分支的另一端;所述激光器和所述光功率计分别熔接在一端的两个端口,另一端的两个端口相互熔接,形成回返光路;可直观且准确的测得半导体激光器的耐回返光阈值,对半导体激光器的设计与制造具有重要的参考意义。
技术领域
本发明涉及半导体激光技术领域,尤其涉及一种半导体激光器耐回返光能力的光路测试系统。
背景技术
随着激光技术的发展和激光器输出功率水平的提高,对激光器的抗回返光破坏能力的要求越来越高。在激光芯片正常工作过程中,会有少量激光沿原路反射回激光芯片,回返光的强度达到一定程度时会影响激光器的传输性能。因此,准确评估半导体激光器的耐回返光能力是激光器使用的前提条件。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种半导体激光器耐回返光能力的光路测试系统。
一种半导体激光器耐回返光能力的光路测试系统,包括:待测试的半导体激光器、光功率计和光纤合束分束模块;所述光纤合束分束模块包括具有多个输入分支的一端及多个输出分支的另一端;所述激光器和所述光功率计分别熔接在一端的两个端口,另一端的两个端口相互熔接,形成回返光路;
所述激光器发出的激光经所述光纤合束分束模块分路后返回至所述激光器和所述光功率计;所述光功率计接收的激光功率与所述激光器接收的回返光功率相同,通过所述光功率计的读数可得知所述激光器接收的回返光功率。
进一步地,通过逐渐增加所述激光器的输出功率而逐渐增加其接收的回返光功率,直至所述激光器被烧毁,此时所述光功率计的读数即为所述激光器能承受的回返光功率的阈值。
进一步地,所述光纤合束分束模块包括两个合束分束单元,分别为第一合束分束单元和第二合束分束单元;所述第一合束分束单元包括具有X1个输入分支的第一端和Y1个输出分支的第二端;所述第二合束分束单元包括具有X2个输入分支的第一端和Y2个输出分支的第二端;X1和Y2为大于或者等于2的整数,Y1和X2为大于或者等于1的整数。
进一步地,所述激光器和所述光功率计分别熔接在所述第一合束分束单元第一端的两个端口,所述第一合束分束单元第二端的一个端口与所述第二合束分束单元第一端的一个端口熔接;所述第二合束分束单元的第二端的两个端口相互熔接,形成回返光路;所述激光器发出的激光经所述第一合束分束单元和所述第二合束分束单元后被分为多路激光束,其中两路经所述第二合束分束单元和所述第一合束分束单元后返回至所述激光器和所述光功率计;所述光功率计接收的激光功率与所述激光器接收的回返光功率相同,通过所述光功率计的读数可测得所述激光器接收的回返光功率,所述回返光功率为2X/(X1X2Y1Y2),其中X为所述激光器的输出功率。
进一步地,所述第一合束分束单元包括两个反接的光纤合束器,即一个X1×1的光纤合束器的输出端连接至一个Y1×1的光纤合束器的输出端,所述X1×1的光纤合束器的输入端的两个端口分别连接所述激光器和所述光功率计,所述Y1×1的光纤合束器的输入端作为所述第一合束分束单元的输出端,即所述第一合束分束单元的第二端;所述第二合束分束单元包括两个反接的光纤合束器,即一个X2×1的光纤合束器的输出端连接至一个Y2×1的光纤合束器的输出端,所述X2×1的光纤合束器的输入端的一个端口与所述第一合束分束单元的第二端的一个端口熔接,所述Y2×1的光纤合束器的输入端的两个端口相互熔接,组成回返光路。
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