[发明专利]一种抛光垫的加工装置及加工方法和由其制得的抛光垫在审
| 申请号: | 202011581971.1 | 申请日: | 2020-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN112677065A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
| 发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;惠宏业;王学泽;赵建军 | 申请(专利权)人: | 上海江丰平芯电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B24D18/00 | 分类号: | B24D18/00;B24B37/26 |
| 代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
| 地址: | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 抛光 加工 装置 方法 | ||
1.一种抛光垫的加工装置,其特征在于,所述加工装置包括齿轮式刀具。
2.根据权利要求1所述的加工装置,其特征在于,所述齿轮式刀具包括销子和设置在销子上的齿轮刀;
优选地,所述销子上齿轮刀的数量为1~28个,优选为4~15个;
优选地,所述齿轮刀的齿外圆直径为10~25mm,优选为13~18mm;
优选地,所述齿轮刀的齿内圆直径为7~22mm,优选为10~15mm;
优选地,所述齿轮刀的内圆直径为4~8mm;
优选地,所述齿轮刀上齿形角的数量为10~50个,优选为14~30个;
优选地,所述销子上齿轮刀之间设置有垫片;
优选地,所述垫片的内径与齿轮刀的内圆直径相同;
优选地,所述垫片的外径为5~20mm,优选为8~13mm。
3.一种抛光垫的加工方法,其特征在于,所述加工方法采用权利要求1或2所述的抛光垫的加工装置进行加工。
4.根据权利要求3所述的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括如下步骤:
(1)抛光垫经所述抛光垫的加工装置中齿轮式刀具加工;
(2)在步骤(1)所述加工过程中,齿轮式刀具经气体吹扫进行冷却,加工完成,得到加工后的抛光垫。
5.根据权利要求4所述的加工方法,其特征在于,步骤(1)中所述抛光垫在齿轮式刀具的转动下进行加工;
优选地,所述加工包括沟槽加工;
优选地,所述加工的时间为2~10min,优选为3~5min;
优选地,所述齿轮式刀具转动的转速为1000~2500r/min,优选为1400~2000r/min。
6.根据权利要求4或5所述的加工方法,其特征在于,步骤(2)中所述齿轮式刀具经气体对准齿轮式刀具的齿尖部位吹扫进行冷却;
优选地,所述抛光垫经气体吹扫进行冷却;
优选地,所述气体吹扫的压力为3~5MPa,优选为3.5~4.5MPa。
7.根据权利要求4~6任一项所述的加工方法,其特征在于,在步骤(1)之前,还包括:将所述齿轮式刀具与加工装置的轴承相连;
优选地,所述齿轮式刀具与的加工装置的轴承相连。
8.根据权利要求4~7任一项所述的加工方法,其特征在于,在步骤(2)之后,还包括冷却等待,取下加工后的抛光垫,放置下一抛光垫,进行下一加工处理;
优选地,所述冷却等待的时间为0.5~4min,优选为1~3min。
9.根据权利要求3~8任一项所述的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括如下步骤:
(1)将齿轮式刀具与加工装置的轴承相连;
(2)启动所述加工装置的电机,电机的转动带动轴承转动,从而带动齿轮式刀具转动;所述抛光垫在加工装置中齿轮式刀具的转动下进行沟槽加工,其中,所述齿轮式刀具转动的转速为1000~2500r/min,加工的时间为2~10min;
(3)步骤(2)所述加工过程中,齿轮式刀具经气体对准齿轮式刀具的刀尖部位吹扫进行冷却,抛光垫同时经气体吹扫进行冷却,加工完成,得到加工后的抛光垫,其中,所述气体的压力为3~5MPa;
(4)所述抛光垫经0.5~4min冷却等待,取下加工后的抛光垫,放置下一抛光垫,进行下一加工处理。
10.一种抛光垫,其特征在于,所述抛光垫由权利要求3~9任一项所述的抛光垫的加工方法加工制得。
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