[发明专利]样品处理装置的局部真空保持装置

说明书

本发明涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置，更加详细地，涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置，其为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品照射的路径上形成孔隙，从而可以提高向样品传输带电粒子的效率，而且能够在样品周围形成局部真空，从而能够防止带电粒子的散射以及用于构成图像的二次电子等的消失，为了形成以及强化局部真空，可以通过双重的局部真空保持结构提高局部真空的有效性，为了有效保持真空，适当调整气体吸入和惰性气体的排放压力。

技术领域

本发明涉及一种在加工或者观察样品的样品处理装置中，将样品周围保持局部真空的装置。更加详细地，涉及一种在利用带电粒子精密加工样品或者向样品进行照射来观察样品的装置中，在大气压下处理样品，从而在样品所处位置的附近精密加工以及观察的装置。

背景技术

作为精密观察样品的装置，代表性的为扫描电子显微镜(Scanning ElectronMicroscope)，扫描电子显微镜是通过向样品照射电子束，并收集通过由向样品照射的电子束而在样品反射的电子或者由向样品照射的电子产生的二次电子等，构成样品的图像。为了构成样品的图像，重要的是通过探测器尽可能多得收集包括二次电子在内的由向样品照射的电子束产生的带电粒子，由于二次电子等带电粒子的能量小，因此通常是在形成真空的腔体内设置样品并进行观察。

最近正在对于将样品放置在大气中进行观察的扫描电子显微镜进行研究，其也应用在精密观察显示器的特定部分以使显示器的工艺最佳化，或者在大气压下分析大面积的显示器以分析异物的成分。

然而，即便在大气压下观察样品，在形成电子束并形成有物镜等的镜筒中为了保持真空，以电子可通过的厚度配置电子穿透膜，电子穿透膜的寿命短而具有需要频繁替换的问题，不仅如此，由于样品处于大气压下，通过电子穿透膜的电子束在到达至样品的途中因大气而发生散射或者从样品反射或者释放的二次电子消失，从而具有难以进行精密的加工以及观察的问题。

在大韩民国公开专利第2014-0027687号中公开有用于防止电子穿透膜的寿命缩短的电子穿透膜保护装置以及具备其的扫描电子显微镜，然而在大韩民国公开专利第2014-0027687号中公开的扫描电子显微镜中均设置有电子穿透膜，因此具有需要对电子穿透膜进行维护的问题，而且无法阻止因样品和电子穿透膜之间的大气而发生散射和二次电子等的消失，具有难以进行精密的观察以及加工的问题。

发明内容

发明要解决的问题

本发明是为了解决如上所述的问题，提供一种样品处理装置的局部真空保持装置，其为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品照射的路径上形成孔隙，从而可以提高向样品传输带电粒子的效率，而且能够在样品周围形成局部真空，从而能够防止带电粒子的散射以及用于构成图像的二次电子等的消失，为了形成以及强化局部真空，可以通过双重的局部真空保持结构提高局部真空的有效性，为了有效保持真空，适当调整气体吸入和惰性气体的排放压力。

解决问题的技术方案

为了达成如上所述的目的，本发明的样品处理装置的局部真空保持装置为利用带电粒子在大气压下加工或者观察样品的样品处理装置的局部真空保持装置，其特征在于，包括：样品放置台，设置有样品，用于在大气压下加工或者观察所述样品；柱部，释放用于加工或者观察设置在所述样品放置台上的样品的带电粒子；柱壳体，在内部容纳有所述柱部并包括孔隙，所述孔隙设置在将从柱部释放的带电粒子向样品照射的路径上；局部真空保持部，在所述孔隙的外围部吸入样品部位的气体以将放置有所述样品的一定区域与外部进行局部性的阻隔；局部真空强化部，设置在所述局部真空保持部的外围部，用于防止外部的气体流入到放置有样品的一定区域内。

另外，本发明的特征在于，所述局部真空保持部包括：吸入部，在所述柱壳体围绕所述孔隙的外围的一部分或者全部；以及真空泵，与所述吸入部连通。

另外，本发明的特征在于，所述局部真空保持部的吸入部以所述样品为中心以倾斜的形态形成在所述柱壳体。