[发明专利]一种钛镍钯合金的制备方法

说明书

本发明提供一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压；所述热压包括以下条件，热压的真空度为‑0.1～1Pa，热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃；所述钛粉的粒径为40μm～150μm，所述镍粉的粒径为40μm～150μm，所述钯粉的粒径为：40μm～150μm。本发明的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。

技术领域

本发明涉及溅射靶材领域，具体涉及一种钛镍钯合金的制备方法。

背景技术

钛镍钯合金是形状记忆，因其具有的形状记忆特性而引起了人们的重视，并很快在航天，机械工程、生物工程、摄影器材、医疗卫生等方面得到应用。现有技术通过真空熔炼的方法制备钛镍钯合金铸锭，容易产生较大量的内部缺陷，且良品率低。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种钛镍钯合金的制备方法。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：

将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压；

所述热压包括以下条件，热压的真空度为-0.1～1Pa，热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃；

所述钛粉的粒径为40μm～150μm，所述镍粉的粒径为40μm～150μm，所述钯粉的粒径为40μm～150μm。

上述的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，并且控制热压前钛粉、镍粉、钯粉的粒径为40μm～150μm，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，但是发明人发现，仅仅通过将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压尚不足以完全解决钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，发明人进一步研究，发现将热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃时，显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。

优选地，所述热压的保温时间为90～120分钟。

优选地，所述钛镍钯合金中，镍含量为20wt％～40wt％且钯含量20wt％～40wt％。

优选地，所述热压的温度为750℃～900℃。

发明人通过研究发现，热压的温度为750℃～900℃时，能够更好地减少钛镍钯合金内部缺陷。

优选地，所述热压的温度为800℃～850℃。

优选地，所述热压的压力为35～45Mpa。

发明人通过研究发现，热压的压力为35～45Mpa时，能够更好地减少钛镍钯合金内部缺陷。

优选地，所述热压的压力为40Mpa。

优选地，将钛、镍、钯在球磨机中球磨至粒径为40μm～150μm并混匀。

优选地，所述热压在真空热压炉中处理。

本发明的有益效果在于：本发明提供了一种钛镍钯合金的制备方法，本发明的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，本发明的钛镍钯合金的制备方法显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。

具体实施方式

为更好的说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本发明作进一步说明。

实施例1

作为本发明实施例的一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：