[发明专利]多晶硒化锌的制备方法

权利要求书

1.一种多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，包括步骤：

步骤一，将厚度为30mm～50mm的一次成品多晶硒化锌片的作为待沉积面的一个表面进行表面处理，得到该表面的粗糙度小于Ra20的硒化锌抛光片，将硒化锌抛光片等离子清洗后置于石墨衬底沉积器的石墨衬底上；

步骤二，将锌料安装在坩埚内；

步骤三，将石墨衬底沉积器安装在石墨坩埚上且石墨衬底沉积器和石墨坩埚上下连通，再置于化学气相沉积真空炉内；

步骤四，在室温下，化学气相沉积真空炉通氩气，维持化学气相沉积真空炉的炉内的真空度；

步骤五，坩埚升温至坩埚的锌蒸发温度，石墨衬底沉积器升温至化学气相沉积温度；

步骤六，坩埚内的锌开始蒸发，向石墨衬底沉积器内通入氩气携带的硒化氢气体，向坩埚内通入氩气且坩埚内的蒸发的锌蒸汽经由氩气携带进入石墨衬底沉积器，在石墨衬底沉积器内，氩气携带的锌蒸汽和氩气携带硒化氢气体反应以使硒化锌化学气相沉积在硒化锌抛光片的待沉积面上；

步骤七，坩埚内的锌蒸发完毕，停止硒化氢气体的通入，坩埚降温至室温，石墨衬底沉积器降温至室温，出炉得到最终整体厚度为60mm～100mm的二次成品多晶硒化锌；

在步骤六中，与硒化氢混合的氩气的流量与硒化氢的流量的比例为6～22。

2.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤四中，所述炉内的真空度为2000Pa～10000Pa。

3.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤五中，坩埚以0.4℃/min～2℃/min的速率升温，坩埚的锌蒸发温度为600℃～750℃。

4.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤五中，石墨衬底沉积器以0.2℃/min～1.2℃/min的速率升温，沉积化学气相沉积温度为650℃～800℃。

5.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤六中，通入坩埚内的携带锌蒸汽的氩气的流量与锌的蒸发速率比例为4～18。

6.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤六中，硒化氢和锌的摩尔比例为0.7～1.5。

7.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤六中，硒化锌的沉积速率为60μm/h～200μm/h。

8.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤七中，坩埚以0.2℃/min～1.2℃/min的速率降温。

9.根据权利要求1所述的多晶硒化锌的制备方法，其特征在于，在步骤七中，石墨衬底沉积器以0.1℃/min～1.5℃/min的速率降温。