[发明专利]电阻应变片及其制作方法

权利要求书

1.一种电阻应变片，其特征在于，包括柔性衬底与应变敏感栅，所述应变敏感栅位于所述柔性衬底的一侧表面，所述应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线。

2.根据权利要求1所述的电阻应变片，其特征在于，所述柔性衬底包括依次层叠的第一柔性衬底与第二柔性衬底，所述应变敏感栅位于所述第一柔性衬底的背向所述第二柔性衬底的一侧表面，所述第二柔性衬底为整面结构，所述第一柔性衬底的形状与所述应变敏感栅相同。

3.根据权利要求1所述的电阻应变片，其特征在于，构成所述蛇形栅线的弧的圆心角小于180°；或，构成所述蛇形栅线的弧的圆心角为0-90°。

4.根据权利要求1所述的电阻应变片，其特征在于，所述蛇形栅线的宽度与所述应变敏感栅的引出端的宽度之比小于1:5，且所述蛇形栅线的宽度小于或等于100μm。

5.根据权利要求1所述的电阻应变片，其特征在于，所述蛇形栅线包括沿第一方向平行间隔排列的第一蛇形栅线以及依次连接相邻所述第一蛇形栅线的端部的第二蛇形栅线。

6.一种电阻应变片的制作方法，其特征在于，包括：

a.提供一基板组件，所述基板组件包括施主基板及可剥离地设置在所述施主基板一侧表面的第一柔性衬底；

b.在所述第一柔性衬底上形成应变敏感栅，所述应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线；

c.将所述第一柔性衬底与所述应变敏感栅的组合体从所述施主基板上剥离；

d.将所述组合体的具有所述第一柔性衬底的一侧贴附在第二柔性衬底的表面；

e.得到电阻应变片。

7.根据权利要求6所述的电阻应变片的制作方法，其特征在于，步骤b，包括：

b1.在所述第一柔性衬底上形成电阻材料层；

b2.对所述电阻材料层进行图案化，得到应变敏感栅，所述应变敏感栅包括多段相互连接的蛇形栅线。

8.根据权利要求7所述的电阻应变片的制作方法，其特征在于，步骤b2，包括：

在所述电阻材料层上涂覆正性光刻胶；

使用具有与所述应变敏感栅相同图案的掩模板对所述正性光刻胶进行曝光图案化；

刻蚀除去所述电阻材料层的未被所述正性光刻胶覆盖的部分；

除去所述正性光刻胶，得到所述应变敏感栅。

9.根据权利要求6、7或8所述的电阻应变片的制作方法，其特征在于，构成所述蛇形栅线的弧的圆心角小于180°；或，构成所述蛇形栅线的弧的圆心角为0-90°。

10.根据权利要求6所述的电阻应变片的制作方法，其特征在于，步骤e，包括：

刻蚀除去所述第一柔性衬底的未被所述应变敏感栅覆盖的部分。