[发明专利]工件的清洗装置以及清洗方法

权利要求书

1.一种工件的清洗装置，其具备：

第1固定体，具有向铅垂方向延伸的筒状的第1筒状部以及覆盖该第1筒状部的上部的盖部；

筒状的第2固定体，具有比所述第1固定体的所述第1筒状部更大的直径，在内部收纳所述第1固定体的所述第1筒状部；

旋转体，具有：第2筒状部，具有比所述第1固定体的所述第1筒状部更大且比所述第2固定体更小的直径；旋转台，配置在该第2筒状部的上部；以及工件保持体，设置在该旋转台的表面，保持清洗对象的工件，所述第2筒状部配置在所述第1固定体的所述第1筒状部与所述第2固定体之间，该旋转体通过所述第1固定体的所述第1筒状部与所述旋转体之间的空隙中配置的上下一对第1轴承以及所述第2固定体与所述旋转体的所述第2筒状部之间的空隙中配置的上下一对第2轴承，旋转自如地支承于所述第1固定体及所述第2固定体；

上部喷嘴，向所述工件表面喷射清洗液；以及

下部喷嘴，配置在所述第1固定体内部的同时，固定在所述盖部，向所述工件背面喷射清洗液，

所述工件的清洗装置的特征在于，具备：

排气口，设置在所述第1固定体，用于将所述第1固定体与所述旋转体之间的空隙中的气体从所述空隙排出；

排气管，配置在所述第1固定体内，一端连接到所述排气口；以及

抽吸机构，连接到所述排气管的另一端，抽吸所述第1固定体与所述旋转体之间的空隙中的气体。

2.根据权利要求1所述的工件的清洗装置，其中，

所述排气口设置在比所述第1轴承上侧的轴承更高的位置。

3.根据权利要求2所述的工件的清洗装置，其中，

所述排气口设置在所述第1筒状部及所述盖部这两者中。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的工件的清洗装置，其中，

在相同的高度位置上，向周向等间隔设置有4个以上的排气口。

5. 一种工件的清洗方法，其利用权利要求1～4中任一项所述的工件的清洗装置清洗工件的两面，所述工件的清洗方法包括：

清洗工序，一边以第1转速旋转所述旋转体使所述工件旋转，一边从所述上部喷嘴向所述工件表面喷射清洗液的同时，从所述下部喷嘴向所述工件背面喷射清洗液，以清洗所述工件的两面；以及

干燥工序，以比所述第1转速更高的第2转速旋转所述旋转体，使清洗后的所述工件干燥，

所述工件的清洗方法的特征在于：

在所述干燥工序中的至少所述工件的转速为600rpm以上的期间，驱动所述抽吸机构，从所述排气口排出所述第1固定体与所述旋转体之间的空隙中的气体。

6.根据权利要求5所述的工件的清洗方法，其中，

所述工件是硅晶圆。